- Главная
- Каталог
- Лабораторное и аналитическое оборудование
- Установки вакуумного напыления
- Высоковакуумная настольная установка термического испарения Vac Coat DTE
Высоковакуумная настольная установка термического испарения Vac Coat DTE
product-card
Настольная установка термического испарения DTE предназначена для осаждения тонких пленок материалов на подложки в исследовательских целях и при подготовке образцов для электронной микроскопии. Эта компактная высоковакуумная система с малой камерой представляет собой экономичное решение для кратковременного нанесения благородных и окисляющихся металлов.
Установка оснащена сильноточным источником питания и платформой для низковольтного резистивного испарения, что позволяет использовать различные типы испарителей (лодочки, корзины, спирали). Вакуумная система включает встроенный турбомолекулярный насос 90 л/с и двухступенчатый пластинчато-роторный форвакуумный насос (опционально). Управление осуществляется через 7-дюймовый сенсорный экран с удобным программным обеспечением, позволяющим контролировать параметры процесса в виде цифровых данных или графиков. Журнал сохраняет информацию о последних 300 испарениях.
Преимущества
- Полуавтоматическое управление процессом испарения
- Отдельный сильноточный источник питания постоянного тока (макс. 12 В, 100 А)
- Вакуумная камера из боросиликатного стекла диаметром 170 мм
- Кварцевый контроллер толщины для измерения в реальном времени с точностью до 1 нм
- Два сильноточных электрических ввода для подключения термического испарителя
- Сменный держатель испарителя с возможностью осаждения снизу вверх или сверху вниз
- Автоматический клапан напуска воздуха
- Широкодиапазонный вакуумметр
- Держатель образца S-Clip на токовводе камеры
- 2-дюймовый вращающийся держатель образца на основании (опционально)
- Возможность вращения, изменения высоты и наклона образца (для опционального 2-дюймового держателя)
- Интуитивно понятный сенсорный экран для управления вакуумным процессом
- Удобное программное обеспечение с возможностью обновления по сети
- Двухлетняя гарантия
Дополнительные опции
- Датчик кварцевого контроллера толщины
- Запасная стеклянная вакуумная камера
- Уплотнительные прокладки
- Испарительные лодочки и корзины
- Производитель
- Vac Coat
- Страна
- Китай
- Электропитание
- 220/110 В, 50/60 Гц, 10/15 А
- Предельное давление, Торр
- <8×10⁻⁶
- Материал камеры
- Боросиликатное стекло (Pyrex)
- Высота камеры, мм
- 140
- Габариты (ШхГхВ), мм
- 450х450х500 (без стойки)
- Тип вакуума
- Высокий вакуум
- Производительность турбомолекулярного насоса, л/с
- 90
- Производительность пластинчато-роторного маслозаполненного вакуумного насоса, м³/ч
- 6
- Тип напыления
- PVD
- Метод нанесения
- Термическое испарение
- Диаметр камеры, мм
- 170
- Количество источников испарения
- 1
- Тип испарения
- Резистивный (лодочка, корзина)
- Регулировка давления
- Прецизионный масс-расходомер (MFC)
- Точность измерения толщины, нм
- 1
- Масса, кг
- 30
Товары из этой же серии
Не забудьте купить
Вы смотрели
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?