Высоковакуумная настольная установка термического испарения Vac Coat DTE

Настольная установка термического испарения DTE предназначена для осаждения тонких пленок материалов на подложки в исследовательских целях и при подготовке образцов для электронной микроскопии. Эта компактная высоковакуумная система с малой камерой представляет собой экономичное решение для кратковременного нанесения благородных и окисляющихся металлов.Установка оснащена сильноточным источником питания и платформой для низковольтного резистивного испарения, что позволяет использовать различные типы испарителей (лодочки, корзины, спирали). Вакуумная система включает встроенный турбомолекулярный насос 90 л/с и двухступенчатый пластинчато-роторный форвакуумный насос (опционально). Управление осуществляется через 7-дюймовый сенсорный экран с удобным программным обеспечением, позволяющим контролировать параметры процесса в виде цифровых данных или графиков. Журнал сохраняет информацию о последних 300 испарениях.

Преимущества

• Полуавтоматическое управление процессом испарения
• Отдельный сильноточный источник питания постоянного тока (макс. 12 В, 100 А)
• Вакуумная камера из боросиликатного стекла диаметром 170 мм
• Кварцевый контроллер толщины для измерения в реальном времени с точностью до 1 нм
• Два сильноточных электрических ввода для подключения термического испарителя
• Сменный держатель испарителя с возможностью осаждения снизу вверх или сверху вниз
• Автоматический клапан напуска воздуха
• Широкодиапазонный вакуумметр
• Держатель образца S-Clip на токовводе камеры
• 2-дюймовый вращающийся держатель образца на основании (опционально)
• Возможность вращения, изменения высоты и наклона образца (для опционального 2-дюймового держателя)
• Интуитивно понятный сенсорный экран для управления вакуумным процессом
• Удобное программное обеспечение с возможностью обновления по сети
• Двухлетняя гарантия

Дополнительные опции

• Датчик кварцевого контроллера толщины
• Запасная стеклянная вакуумная камера
• Уплотнительные прокладки
• Испарительные лодочки и корзины