Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 75
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: 2
Магниторазрядный ионно-геттерный вакуумный насос KYKY 2L-50
Тип:
Магниторазрядный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Предельное остаточное давление, мбар: 7*10(-8)
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN90S
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 34 000
Производительность по водороду, л/с: 60 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 28 000
Скорость откачки по парам воды, л/с: 90 000
Время охлаждения, мин: 160
Производительность по азоту, л/с: 1300
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Диффузионный вакуумный насос ERSTEVAK EVD 100
Тип:
Диффузионный
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 550
Предельное остаточное давление, мбар: 5*10^-7
Мощность нагревателя, кВт: 1
Диффузионный вакуумный насос ERSTEVAK EVD 1200
Тип:
Диффузионный
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 60000
Предельное остаточное давление, мбар: 5*10^-7
Мощность нагревателя, кВт: 30
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN25S
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 2 500
Производительность по водороду, л/с: 3 900
Скорость откачки по аргону, л/с: 2 000
Скорость откачки по парам воды, л/с: 7 000
Время охлаждения, мин: 75
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-100/150E DN100CF
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 150
Предельное остаточное давление, мбар: 6x10^-9
Время выхода на режим, мин: <2
Производительность по азоту, л/с: 900
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5