Производительность по азоту, л/с: 400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-200/1401 на магнитном подшипнике со встроенным контроллером
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 1400
Предельное остаточное давление, мбар: 2х10^-8
Время выхода на режим, мин: 6
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-160/620E
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 600
Время выхода на режим, мин: 7
Производительность по азоту, л/с: 900
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-200/1401E на магнитном подшипнике со встроенным контроллером ISO-K 200
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 1400
Предельное остаточное давление, мбар: 2х10^-8
Время выхода на режим, мин: <6
Производительность по азоту, л/с: 900
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN50SH
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 10 000
Производительность по водороду, л/с: 13 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 8 400
Скорость откачки по парам воды, л/с: 30 000
Время охлаждения, мин: 170
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN50PH
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 10 000
Производительность по водороду, л/с: 13 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 8 400
Скорость откачки по парам воды, л/с: 30 000
Время охлаждения, мин: 150
Магниторазрядный ионно-геттерный вакуумный насос KYKY 3L-25
Тип:
Магниторазрядный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Предельное остаточное давление, мбар: 7*10(-8)
Диффузионный вакуумный насос ERSTEVAK EVD 1400
Тип:
Диффузионный
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 90000
Предельное остаточное давление, мбар: 5*10^-7
Мощность нагревателя, кВт: 40