Криогенные насосы SHI

О криогенных насосах SHI

Компания ЭРСТВАК является официальным дилером известного холдинга SHI Cryogenics, одного из мировых лидирующих производителей вакуумного оборудования, использующего собственные инновационные разработки по криогенным технологиям охлаждения для различных промышленных установок и научных целей.

Предлагаем ознакомиться с подробным каталогом продукции компании SHI Cryogenics, изданном на русском языке. Вы можете заказать у нас бумажный экземпляр. Мы отправим его экспресс-почтой с бесплатной доставкой для получателя.

Компания SHI Cryogenics производит насосы серий Marathon CP восьми моделей, в которых отдельным рядом представлены две разновидности изделий серии SICERA.

Для подключения к вакуумным установкам насосы снабжены фланцами с диаметрами от 200 до 500 мм и типоразмерами:

• ISO.
• ANSI.
• CF.

Компания SHI предлагает эксклюзивные решения для откачек больших объемов ксенона на основе встраиваемых конструкций криогенных насосов повышенной производительности. Благодаря примененной системы охлаждения, питающейся от одноступенчатой мощной криомашины, они создают быстродействие откачки до 100000 л/с и выше.

Такие изделия снабжены распространенным фланцем DN200, что позволяет устанавливать их на любую вакуумную конструкцию. Но, для их работы необходимо смонтировать внутри вакуумной камеры сорбирующую пластину.

2 главных преимущества крионасосов SHI

• Пониженная стоимость изделия на единицу быстродействия по сравнению со всеми аналогами других производителей.
• Возможность регенерации ксенона, позволяющая проводить длительные эксперименты для научных изысканий.

В проекте на вакуумную систему вы можете заказать любой вид управления:

• Ручной.
• Полностью автоматический.

Криосорбционные насосы серии Marathon CP

Они специально сконструированы для универсального использования в высоковакуумных установках при эксплуатации в массовых промышленных производствах или маленьких научных лабораториях.

Благодаря своей высокой эффективности и надежности в сочетании с минимальными эксплуатационными затратами они широко применяются в производстве:

• Полупроводниковых приборов.
• Солнечных батарей.
• Плоских дисплеев.
• Напылительного оборудования.
• Испытательных установок.

Во всех этих производственных сферах крионасосы Marathon CP пользуются популярностью благодаря:

• Простоте обслуживания.
• Отсутствию необходимости разрыва вакуума.
• Выполнению откачек без демонтажа насосов с вакуумных камер.
• Бесперебойной работе.
• Максимальной продуктивности.
• Пониженной эксплуатационной стоимости.

Насосы серии SICERA™ Cryopump

Эти модели с мощностью 0,9 кВт отличаются экономным потреблением электроэнергии. Они работают по инверторной технологии, запатентованной компанией и снижают затраты до 30%.

Разработанная в SHI конструктивная система разрешает на одном компрессоре эксплуатировать до шести насосов без снижения общей производительности вакуумной установки.

Эта серия насосов выпускается с размерами фланцев 300 или 200 мм и обладают полностью автоматическим циклом регенерации, который максимально оптимизирует продолжительность продуктивной работы. Благодаря этому:

• Экономится электроэнергия.
• Увеличивается производственная эффективность.

Насосы SICERA идеально подходят для производства плоскопанельных дисплеев, полупроводниковых пластин и подобной продукции.

Полностью подготовленные к работе установки системы SICERA содержат в своем комплекте компрессор и мобильный контроллер. Такая конструкция полностью отлажена, прошла всесторонние испытания по эксплуатационным требованиям для самых сложных условий вакуумных технологий. Один микроконтроллер способен управлять десятью крионасосами и двумя компрессорами собственной системы.

При этом обеспечивается постоянный контроль режимов криокуллера и компрессора, что дает системе SICERA:

• Экономию потребления электроэнергии.
• Большую стабильность температурных режимов.
• Высокий уровень создаваемого вакуума.

Контроллер Marathon® Cryopump

Контроллеры MCC позволяют автоматизировать работу насосов Marathon на основе применения хост-компьютера со стандартизованным в промышленности протоколом. Причем к нему поставляется дополнительное программное обеспечение, позволяющее использовать обычный персональный компьютер под управлением операционной системой Windows.

Совместная работа крионасосов Marathon под руководством контроллеров MCC обеспечивает:

• Значительное сокращение периодов простоя оборудования между технологическими циклами.
• Улучшение продолжительности производственного процесса.
• Повышение общей эффективности откачки.