- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Диффузионные насосы
- Диффузионный вакуумный насос ERSTVAK EVD 320
Диффузионный вакуумный насос ERSTVAK EVD 320
Диффузионные насосы — самое простое и доступное решение для получение высокого и сверхвысокого вакуума особенно в тех случаях, когда необходимо обеспечить высокую скорость откачки. Они широко применяются в различных отраслях — в полупроводниковой, химической, авиационной и атомной промышленностях.
Данный тип насосов подходит для вакуумных систем с невысокими требованиями к чистоте получаемого вакуума, так как обратный поток паров масла из всех диффузионных насосов в откачиваемую систему составляет порядка 10-2 мг/(ч×см2).
Применение
- вакуумные печи;
- обработка поверхностей установки имитации космического пространства;
- установки для осаждения распылением;
- металлургическое оборудование.
Особенности и преимущества
- высокая скорость откачки и надёжность;
- долгий срок службы без техобслуживания;
- возможность использовать в качестве рабочей жидкости синтетическое кремнийорганическое масло, увеличивающее скорость откачки до 30% и предельное остаточное давление насоса;
- обратный поток масла в откачиваемую систему устраняется практически полностью за счет использования криопанелей (LN 2) и водоохлаждаемых жалюзи.
- Тип
- Диффузионные
- Уровень вакуума
- Высокий
- Тип смазки
- Масляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 108
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 5 × 10⁻⁷
- Мощность, кВт
- 5
- Входной патрубок
- DN320
- Выходной патрубок
- DN80
- Количество ступеней
- Многоступенчатый
- Охлаждение
- Водяное
- Масса, кг
- 100
- Производитель
- ERSTVAK
- Серия
- EVD
- Страна
- Российская Федерация
- Длина, мм
- 725
- Высота, мм
- 830
- Ширина, мм
- 525
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 725×525×830
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 10
- Объем масла, л
- 1.4
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 420
- Время выхода на режим, мин
- 40
- Температура охлаждающей воды
- +4 — +20
- Напряжение, В
- 380
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 35
- Максимальное форвакуумное давление, мбар (абс.)
- 0.4