Диффузионный вакуумный насос ERSTVAK EVD 320

Диффузионный вакуумный насос ERSTVAK EVD 320 — масляный диффузионный насос серии EVD для высоковакуумных систем. Диффузионная технология не использует механически движущиеся рабочие органы в высоковакуумной ступени: перенос газа обеспечивается потоком паров рабочей жидкости.

Рабочая жидкость нагревается в нижней части насоса, её пары проходят через сопловую систему и образуют направленные струи. Молекулы откачиваемого газа диффундируют в паровой поток и переносятся к зоне форвакуумного выхода. На охлаждаемых стенках корпуса пары рабочей жидкости конденсируются и возвращаются в нижнюю часть насоса, а газ удаляется форвакуумным насосом. Поэтому EVD применяется как высоковакуумная ступень и требует соответствующей форвакуумной откачки.

Рабочая среда и чистота вакуума

Для серии EVD характерна высокая скорость откачки при простой конструкции и отсутствии трущихся деталей в механизме переноса газа. В качестве рабочей жидкости может использоваться синтетическое кремнийорганическое масло. Для процессов, чувствительных к обратному потоку паров рабочей жидкости, в вакуумной системе применяют охлаждаемые ловушки, криопанели или жалюзи: такие элементы снижают поступление паров масла в откачиваемый объём. Выбор этой технологии особенно уместен там, где требования к чистоте вакуума допускают применение масляного диффузионного насоса.

Применение

Насосы EVD используют в промышленном и научно-техническом высоковакуумном оборудовании. Серия применяется в полупроводниковой, химической, авиационной и атомной промышленности.

• вакуумные печи и металлургическое оборудование;
• установки обработки и нанесения покрытий на поверхности;
• системы осаждения распылением;
• установки имитации условий космического пространства.

При проектировании вакуумной системы конкретную модель EVD подбирают с учётом требуемого рабочего давления, газовой нагрузки, допустимого форвакуумного давления и возможностей форвакуумного насоса.