Технические характеристики
- Камера печи объемом 400 л.
- Рабочее давление внутри камеры в процессе 10-4 мбар.
- Пост мобильный, специально спроектирован для легкого перемещения и многофункционального использования внутри лаборатории.
- Конструктивно состоит из высоковакуумного диффузионного насоса 700 л/с, а так же форвакуумного маслозаполненного пластинчато-роторного насоса.
- В связи со спецификой процесса роста монокристалла, а именно большого количества коррозионноактивых элементов в откачиваемой среде пост оснащен необходимыми для длительной работы средствами защиты (форвакуумной ловушкой SodaSorb и водоохлаждаемой ловушкой на входе в насос).
- Пост полностью автономен, оснащен системой автоматического управления на современной элементной базе.
