Высоковакуумные насосы

ЭРСТВАК предлагает оборудование для получения высокого и сверхвысокого вакуума в научных и технологических установках. Краткое описание серий поможет вам сориентироваться в нашем каталоге.

В каталоге можно подобрать высоковакуумный насос с учётом конструкции, производительности и условий эксплуатации.

2НВР – двухступенчатые маслозаполненные пластинчато-роторные насосы с газобалластом и защитой от обратного всасывания масла. Работают самостоятельно и как форвакуумная ступень; применяются в сушке, металлургии и термовакуумных установках.

ERVP – бустерные насосы Рутса для повышения быстроты откачки в многоступенчатых системах. Работают совместно с форвакуумной ступенью и подходят для больших газовых нагрузок, когда требуется ускорить прохождение рабочего диапазона давлений.

PRM – маслозаполненные пластинчато-роторные насосы, работающие самостоятельно или как форвакуумная ступень. Масло герметизирует зазоры и отводит тепло; серия подходит для низкого и среднего вакуума и умеренной паровой нагрузки.

LARA – безмасляные двухроторные бустерные насосы Рутса для повышения производительности вакуумной системы. Серия работает вместе с подходящей форвакуумной ступенью и предназначена для высокоскоростной откачки значительных объёмов газа.

VBP – бустерные насосы Рутса для увеличения эффективной скорости откачки в среднем и низком диапазоне давлений. Рабочая ступень действует без трущихся уплотнительных поверхностей и включается совместно с форвакуумным насосом.

VBPi – бустерные насосы Рутса со встроенным частотным преобразователем. Плавный пуск и регулирование частоты помогают согласовать работу бустерной ступени с газовой нагрузкой и характеристиками форвакуумного насоса.

ESR – сухие безмасляные насосы для технологических процессов, включая коррозионно-активные среды. Серия сочетает высокую производительность с водяным охлаждением и азотной продувкой, которые учитываются при интеграции в установку.

EV-M – сухие многоступенчатые насосы для высоконагруженных технологических процессов. Температурное управление рабочим трактом помогает уменьшать накопление конденсируемых продуктов реакции при производительной безмасляной откачке.

EST – сухие винтовые насосы для высокой газовой нагрузки и процессов с реакционными побочными продуктами. Высокотемпературный режим уменьшает их осаждение, а коррозионностойкие исполнения рассчитаны на сложную процессную химию.

КВТ – высоковакуумные турбомолекулярные комплексы с насосом, преобразователем частоты и монтажными элементами. Комбинированное охлаждение и отсутствие ограничений по ориентации упрощают интеграцию в промышленные и исследовательские установки.

EVD – масляные диффузионные насосы для высокого вакуума. Направленные струи паров рабочей жидкости переносят молекулы газа к форвакуумному выходу; серия используется как высоковакуумная ступень совместно с форвакуумным насосом.

2L – ионно-геттерные магниторазрядные насосы с разрядом Пеннинга для чистого сверхвысокого вакуума. Безмасляная схема подходит для ускорителей, электронной микроскопии, масс-спектрометрии и полупроводниковых систем.

3L – триодные ионно-геттерные насосы, рассчитанные в том числе на эффективную откачку инертных газов. Работают без масла и применяются в научных и технологических сверхвысоковакуумных установках.

GENCRYO – безмасляные криогенные насосы для сверхвысокого вакуума. Газы удаляются за счёт конденсации и сорбции на охлаждённых поверхностях, что подходит для научных и технологических установок с высокими требованиями к чистоте.

MARATHON CP – криогенные высоковакуумные насосы для интенсивной откачки различных газов и паров, включая лёгкие и инертные. Применяются в криогенных, научных и технологических системах, где требуется большая скорость откачки.

CryoVac EV-CTP – безмасляные криогенные насосы для высоковакуумных технологических камер. Газ улавливается на охлаждённых поверхностях за счёт конденсации и сорбции; по мере заполнения криопанелей выполняется регенерация.

CryoVac EV-ICTP – криогенные насосы со встроенным контроллером для автоматизированной безмасляной высоковакуумной откачки. Электроника управляет рабочими циклами и регенерацией, а криопанели удерживают газы при сверхнизких температурах.

NEXTorr – гибридные сверхвысоковакуумные насосы, объединяющие NEG-геттер и магниторазрядную ионную ступень. Откачивают активные и благородные газы без вращающихся узлов и масла в вакуумном тракте.

PRX – компактные двухступенчатые маслозаполненные пластинчато-роторные насосы для глубокого вакуума. Газобалластный клапан помогает работать с водяным паром, а двухступенчатая схема обеспечивает низкое остаточное давление.

CRVPRO – двухступенчатые пластинчато-роторные насосы для лабораторного вакуума и агрессивных газов и паров. Контактирующие элементы выполнены из PTFE или имеют PTFE-покрытие; предусмотрена защита от обратного всасывания.

JZB – сухие высоковакуумные насосы прямого атмосферного впуска, рассчитанные на начало откачки от атмосферного давления. Водяное охлаждение и керамические подшипники используются в технологических и исследовательских системах.

ESA – сухие безмасляные насосы высокой производительности для быстрой откачки крупных объёмов и работы с лёгкими газами. Частотное управление помогает согласовать производительность с процессом; доступны коррозионностойкие исполнения.

JFB – турбомолекулярные насосы для высокого и сверхвысокого вакуума. Роторные и статорные ступени направляют молекулы к форвакуумному выходу; серия работает в составе системы с предварительной откачкой.

MTP – турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом ротора для высокого и сверхвысокого вакуума. Бесконтактная опора снижает вибрацию и исключает масляную смазку в узле подвеса; требуется подходящая форвакуумная ступень.

EBT – турбомолекулярные насосы с керамическим подшипником на консистентной смазке. Предназначены для высокого и сверхвысокого вакуума в полупроводниковых, фотоэлектрических, тонкоплёночных и аналитических системах.

EMT – турбомолекулярные насосы с пятикоординатным магнитным подвесом ротора. Бесконтактная опора снижает механическое взаимодействие и подходит для высоковакуумных систем, работающих совместно с форвакуумной ступенью.

CXF – турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом ротора для высокого и сверхвысокого вакуума. Безмасляный газовый тракт и уменьшенный механический контакт подходят для длительных чистых технологических процессов.

FF – турбомолекулярные насосы с керамическим подшипником и штатным контроллером. Допускают произвольную ориентацию и воздушное или водяное охлаждение; используются как высоковакуумная ступень научных и технологических систем.