Высоковакуумные турбомолекулярные насосы CBVAC

Высоковакуумные турбомолекулярные насосы CBVAC — это оборудование для создания высокого и сверхвысокого вакуума в технологических, исследовательских и промышленных системах. В каталоге CBVAC представлены серии JFB, JZB и MTP, различающиеся конструкцией, способом управления, системой подвески ротора и особенностями интеграции в вакуумную установку. Купить высоковакуумные турбомолекулярные насосы CBVAC можно с доставкой по всей России.

Навигация по статье

Высоковакуумные турбомолекулярные насосы CBVAC

CBVAC предлагает высоковакуумные турбомолекулярные насосы для систем, в которых требуется стабильная работа при высоком и сверхвысоком вакууме. В зависимости от серии оборудование может использоваться для сухой откачки от атмосферного давления, оснащаться магнитной подвеской ротора или интегрированным управлением.

Линейка включает серии JFB, JZB и MTP. Серия JFB представляет высокоскоростные молекулярные насосы с интегрированным управлением и возможностью регулирования скорости. JZB предназначена для сухой откачки с непосредственным началом работы при атмосферном давлении. Насосы MTP оснащаются магнитной системой подвески ротора и встроенным контроллером.

Такое разделение позволяет выбирать конструктивное исполнение насоса в соответствии с требованиями конкретной вакуумной системы, условиями технологического процесса и необходимым способом интеграции оборудования.

Турбомолекулярные насосы CBVAC серии JFB

Серия JFB объединяет высокоскоростные молекулярные насосы, рассчитанные на создание высокого и сверхвысокого вакуума. Модели представлены в различных типоразмерах и используют интегрированную систему управления, упрощающую запуск и остановку оборудования.

В конструкции применяются прецизионные керамические шарикоподшипники с консистентной смазкой. Ротор турбины объединен с высокоскоростным двигателем, а предусмотренная регулировка скорости позволяет выбирать режим откачки в зависимости от требований системы.

Насосы серии JFB применяются в процессах PVD и CVD, производстве жидкокристаллических пластин, масс-спектрометрии, физике высоких энергий, обнаружении утечек, медицинской и биологической инженерии, а также других научно-исследовательских задачах.

Турбомолекулярные насосы CBVAC серии JZB

Серия JZB предназначена для сухой высоковакуумной откачки с возможностью начала работы непосредственно при атмосферном давлении. В проточной части насоса не используется масло, что позволяет вести откачку без масляной рабочей среды.

Насосы серии оснащаются водяным охлаждением и устанавливаются вертикально. В конструкции используются керамические шарикоподшипники, а связь с системой управления может осуществляться через Remote I/O или RS232. Для разных исполнений предусмотрены различные варианты входного присоединения.

Серия JZB используется в полупроводниковом и электронном производстве, научно-исследовательских вакуумных установках, процессах нанесения покрытий и других технологических системах, где требуется сухая откачка от атмосферного давления в область высокого вакуума.

Турбомолекулярные насосы CBVAC серии MTP

Серия MTP предназначена для высоковакуумных систем, в которых важны чистота рабочей среды и стабильность вращения ротора. Насосы оснащаются магнитной системой подвески, удерживающей ротор без механического контакта в рабочем режиме.

Магнитная подвеска исключает необходимость масляной смазки опоры ротора и уменьшает передачу механических вибраций на вакуумную установку. Положение ротора и его рабочее состояние контролируются электронной системой, а насос оснащается встроенным контроллером и водяным охлаждением.

Насосы серии MTP используются в полупроводниковых процессах, включая осаждение тонких пленок, травление и ионную имплантацию, а также в исследовательском и материаловедческом оборудовании и других системах, где требуется высокий или сверхвысокий вакуум.