- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Турбомолекулярные насосы
- Прямой атмосферный молекулярный насос CBVAC JZB-160/500
Прямой атмосферный молекулярный насос CBVAC JZB-160/500
Прямой атмосферный турбомолекулярный насос CBVAC JZB-160/500 — модель серии JZB, которая относится к сухим высоковакуумным насосам прямого атмосферного впуска. Насос рассчитан на начало откачки при атмосферном давлении и работу в области высокого вакуума без масляной рабочей среды в газовом тракте.
JZB-160/500 используется как высоковакуумный насосный узел в технологических и исследовательских вакуумных системах. При выборе режима работы учитывают объём камеры, газовую нагрузку, проводимость вакуумных магистралей и требования конкретного процесса. Сухая схема позволяет вести откачку без масла в проточной части насоса.
Конструкция и интеграция
Для JZB-160/500 предусмотрено водяное охлаждение и вертикальная установка. В конструкции применяются керамические шарикоподшипники, а управление может быть связано с системой установки через Remote I/O или RS232. Входное присоединение модели выполнено на фланце LF160 — это одно из модельных отличий данного исполнения внутри серии JZB.
При монтаже обеспечивают устойчивое положение насоса, подключение охлаждения, электропитания и управляющих сигналов, а также свободный вакуумный тракт. Рабочий режим выбирают с учётом всей вакуумной системы и технологической нагрузки.
Применение
Серия JZB используется в полупроводниковом и электронном производстве, научных и исследовательских вакуумных установках, процессах нанесения покрытий и других технологических системах, где требуется сухая откачка от атмосферного давления в область высокого вакуума. JZB-160/500 предназначен для интеграции в такие вакуумные комплексы в качестве сухого высоковакуумного насоса.
- Тип
- Турбомолекулярные
- Уровень вакуума
- Высокий
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 500.4
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 1 × 10⁻⁸
- Мощность, кВт
- 1.6
- Частота вращения, об/мин
- 18000
- Количество ступеней
- Многоступенчатый
- Охлаждение
- Водяное
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 394,4×400,3×394,4
- Масса, кг
- 47
- Напряжение, В
- 220
- Максимальное форвакуумное давление, мбар (абс.)
- 1000
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Юрий БычковС компанией ЭРСТВАК сотрудничаем около двух лет. Начиналось всё с турбомолекулярного насоса для нашей лаборатории в МГУ. Компетентные сотрудники быстро предложили различные варианты, а коммерческое предложение оказалось интереснее, чем у прочих поставщиков. С тех пор регулярно вакуумное оборудование, которое всегда приходит в срок, а часто есть в наличии на складе. Работой компании довольны.
1serga2Был необходим вакуумный откачной пост для откачки камеры на базе форвакуумного насоса + ТМН. Хотелось бы выразить благодарность конструкторскому отделу за качественное проектирование установки, сервисным инженерам, менеджеру Александру за ведение этого непростого проекта. Оборудование уже введено в эксплуатацию и исправно работает. Однозначно могу рекомендовать Эрствак, как надежного поставщика
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: