Главная
Каталог
Вакуумная техника
Вакуумные насосы
Турбомолекулярные насосы
Турбомолекулярный вакуумный насос CBVAC JFB-250/2201 (CF 200)

Турбомолекулярный вакуумный насос CBVAC JFB-250/2201 (CF 200)

product-card

Тип Турбомолекулярные
Уровень вакуума Сверхвысокий
Тип смазки Безмасляный
Скорость откачки, м³/ч 57.6
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 5 × 10⁻⁹
Мощность, кВт 1
Частота вращения, об/мин 24000
Входной патрубок СF200
Выходной патрубок KF40

В корзину

Описание

Характеристики

Графики и чертежи

Проекты

Отзывы клиентов

CBVAC JFB-250/2201 (CF 200) — турбомолекулярный вакуумный насос серии JFB для высоковакуумной откачки. Модель выполнена с входным фланцем CF 200 и предназначена для работы в составе вакуумной системы, где форвакуумный насос сначала снижает давление, а турбомолекулярная ступень обеспечивает дальнейшую откачку до высоковакуумного диапазона.

Вращающийся с высокой скоростью ротор передаёт молекулам газа импульс в направлении форвакуумного выхода. Последовательное прохождение газа через лопаточные ступени уменьшает его концентрацию со стороны вакуумной камеры. Поэтому производительность турбомолекулярного насоса зависит не только от самого агрегата, но и от проводимости входной магистрали, газовой нагрузки и корректно подобранной форвакуумной ступени.

Соединение CF 200 предназначено для герметичной высоковакуумной магистрали и позволяет включать насос в установки с большим входным проходом. При проектировании узла учитывают требуемое давление в камере, состав и поток газа, характеристики форвакуумного насоса, допустимое давление на выходе турбомолекулярной ступени и предусмотренный режим охлаждения.

Особенности

турбомолекулярная откачка в области высокого и сверхвысокого вакуума;
входной фланец CF 200;
работа после предварительной откачки камеры;
использование совместно с форвакуумным насосом;
применение в составе технологических и исследовательских вакуумных комплексов.

Применение

Серия JFB подходит для полупроводниковых процессов, электронной промышленности, научных вакуумных установок, систем нанесения покрытий и вакуумной металлургии. JFB-250/2201 CF 200 может использоваться там, где высоковакуумная камера подключается через фланец соответствующего типоразмера и требуется интенсивное удаление остаточного газа после форвакуумной откачки.

Эксплуатация

До разгона ротора необходимо создать предварительное разрежение. В установившемся режиме контролируют состояние охлаждения, давление со стороны форвакуумной линии и газовую нагрузку. Запорную арматуру и трубопроводы подбирают так, чтобы не ограничивать проводимость и не создавать для насоса режимов, выходящих за допустимые условия эксплуатации.

Тип: Турбомолекулярные

Уровень вакуума: Сверхвысокий

Тип смазки: Безмасляный

Скорость откачки, м³/ч: 57.6

Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻⁹

Мощность, кВт: 1

Частота вращения, об/мин: 24000

Входной патрубок: СF200

Выходной патрубок: KF40

Количество ступеней: Многоступенчатый

Охлаждение: Воздушноеводяное

Уровень шума, дБ: 60

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 270×354,8×270

Масса, кг: 40

Минимальная температура окружающей среды, °С: 0

Расход рабочей жидкости, л/мин: 1.5

Температура охлаждающей воды: +15 — +30

Напряжение, В: 220

Максимальная температура окружающей среды, °C: 35

Максимальное форвакуумное давление, мбар (абс.): 0.02

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Разработали испытательный стенд для электровакуумных излучателей для объектов «Росатома»

10.06.25

1 мин.

937

Реализовали новый проект по вакуумным печам для высоковакуумного отжига и пайки

23.10.19

1 мин.

1339

Произвели модернизацию вакуумной камеры

27.10.19

1 мин.

1471

Юрий Бычков

С компанией ЭРСТВАК сотрудничаем около двух лет. Начиналось всё с турбомолекулярного насоса для нашей лаборатории в МГУ. Компетентные сотрудники быстро предложили различные варианты, а коммерческое предложение оказалось интереснее, чем у прочих поставщиков. С тех пор регулярно вакуумное оборудование, которое всегда приходит в срок, а часто есть в наличии на складе. Работой компании довольны.

1serga2

Был необходим вакуумный откачной пост для откачки камеры на базе форвакуумного насоса + ТМН. Хотелось бы выразить благодарность конструкторскому отделу за качественное проектирование установки, сервисным инженерам, менеджеру Александру за ведение этого непростого проекта. Оборудование уже введено в эксплуатацию и исправно работает. Однозначно могу рекомендовать Эрствак, как надежного поставщика

Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: