- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Турбомолекулярные насосы
- Турбомолекулярные насосы EBARA
Турбомолекулярные насосы EBARA
На этой странице вы можете выбрать турбомолекулярные насосы EBARA — а мы оперативно поможем подобрать подходящую модель и найдем индивидуальное решение для вашей задачи.
- Основы вакуумной техники
- Спиральные насосы вакуумные: принцип работы, спиральные форвакуумные насосы
- Системы вакуумного прессования с вакуумными мешками для шпонирования и других применений
- Заменили европейскую установку для печатного станка: индивидуальное решение
- Разработали испытательный стенд для электровакуумных излучателей для объектов «Росатома»
- Установили имитаторы космического пространства ERSTVAK для Аэрокосмического университета
ЭРСТВАК предлагает оборудование для получения высокого и сверхвысокого вакуума в научных и технологических установках. Краткое описание серий поможет вам сориентироваться в нашем каталоге.
EBT – турбомолекулярные насосы с керамическим подшипником на консистентной смазке. Предназначены для высокого и сверхвысокого вакуума в полупроводниковых, фотоэлектрических, тонкоплёночных и аналитических системах.
EMT – турбомолекулярные насосы с пятикоординатным магнитным подвесом ротора. Бесконтактная опора снижает механическое взаимодействие и подходит для высоковакуумных систем, работающих совместно с форвакуумной ступенью.
Фильтры
ЭРСТВАК предлагает оборудование для получения высокого и сверхвысокого вакуума в научных и технологических установках. Краткое описание серий поможет вам сориентироваться в нашем каталоге.
EBT – турбомолекулярные насосы с керамическим подшипником на консистентной смазке. Предназначены для высокого и сверхвысокого вакуума в полупроводниковых, фотоэлектрических, тонкоплёночных и аналитических системах.
EMT – турбомолекулярные насосы с пятикоординатным магнитным подвесом ротора. Бесконтактная опора снижает механическое взаимодействие и подходит для высоковакуумных систем, работающих совместно с форвакуумной ступенью.
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000001
- Входной патрубок: ISO-K63
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000001
- Входной патрубок: ISO-K63
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000001
- Входной патрубок: CF63
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000001
- Входной патрубок: CF63
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000001
- Входной патрубок: ISO-K63
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000001
- Входной патрубок: ISO-K63
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000001
- Входной патрубок: CF63
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000001
- Входной патрубок: CF63
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 864
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000005
- Входной патрубок: ISO-K100
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 864
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000005
- Входной патрубок: CF100
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 864
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000005
- Входной патрубок: CF100
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 864
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000005
- Входной патрубок: ISO-K100
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 792
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
- Входной патрубок: ISO-K100
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 792
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
- Входной патрубок: ISO-K100
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 792
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
- Входной патрубок: CF100
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 792
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
- Входной патрубок: CF100
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 1188
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
- Входной патрубок: ISO-K100
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 1188
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
- Входной патрубок: ISO-K100
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 1188
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
- Входной патрубок: CF100
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 1188
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
- Входной патрубок: CF100
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 1620
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
- Входной патрубок: ISO-F160
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 1620
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
- Входной патрубок: ISO-F160
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
- Входной патрубок: CF160
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 1620
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
- Входной патрубок: CF160
Турбомолекулярные насосы EBARA — это высоковакуумное оборудование для создания высокого и сверхвысокого вакуума в технологических и исследовательских системах. В каталоге EBARA представлены серии EMT и EBT, которые отличаются конструктивным исполнением, особенностями охлаждения, управления и возможностями применения. Купить турбомолекулярные насосы EBARA можно с доставкой по всей России.
Навигация по статье
Описание
EBARA предлагает турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом для вакуумных систем, в которых требуются высокая скорость откачки, стабильная работа и получение высокого или сверхвысокого вакуума. Линейка включает несколько вариантов исполнения, рассчитанных на различные технологические задачи.
Насосы EBARA могут использоваться в системах полупроводникового производства, фотогальваники, научных исследований, аналитического оборудования и других установках, где предъявляются повышенные требования к характеристикам вакуумной откачки.
Турбомолекулярные насосы EBARA
В каталоге представлены серии EMT и EBT. Серия EMT включает четыре типа турбомолекулярных насосов с магнитным подвесом, в том числе исполнения с терморегулированием, коррозионностойким покрытием, низким уровнем вибраций и для сверхвысокого вакуума. Серия EBT представляет турбомолекулярные насосы с интегрированными молекулярными ступенями и механическими подшипниками.
Серия EMT
Серия EMT объединяет турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом, предназначенные для работы в широком диапазоне давлений. В зависимости от исполнения оборудование может использоваться для задач, где важны терморегулирование, коррозионная стойкость, минимальный уровень вибраций или достижение сверхвысокого вакуума.
Насосы серии EMT оснащаются функциями автоматической калибровки, дистанционного управления и мониторинга. Для оборудования доступны варианты воздушного или водяного охлаждения, а также исполнения с контролируемым прогревом, продувкой азотом, запорными клапанами и другими дополнительными опциями.
Серия применяется в полупроводниковой, фотогальванической и неполупроводниковой промышленности, включая травление, осаждение из паровой фазы, тонкоплёночные покрытия, работу загрузочных шлюзов, сканирующую электронную микроскопию и аналитическое оборудование.
Серия EBT
Серия EBT включает турбомолекулярные насосы с интегрированными молекулярными ступенями и механическими подшипниками. Такая конструкция дополняет модельный ряд турбомолекулярных насосов EBARA и предназначена для высоковакуумных производственных процессов.
Насосы серии EBT отличаются высокоэффективной конструкцией, обеспечивающей чистую и надежную откачку. Оборудование может устанавливаться в различных положениях, а в зависимости от исполнения предусматриваются воздушное или водяное охлаждение и дополнительные элементы для работы с различными технологическими средами.
Серия EBT применяется в ядерной физике, ускорителях и установках для работы с пучками частиц, системах имитации космического пространства, аналитических приборах, электронно-лучевых и рентгеновских трубках, при создании вакуума для источников ионов или электронных пушек, а также при нанесении покрытий, напылении и других вакуумных процессах.
