Вакуумметры THYRACONT

О вакуумметрах THYRACONT

Вакуумметры и датчики THYRACONT предназначены для точного контроля давления в вакуумных системах — от атмосферного давления до высокого и сверхвысокого вакуума. Линейка включает пьезорезистивные, Пирани и комбинированные датчики, а также широкодиапазонные модели для сложных технологических процессов.

Датчики THYRACONT применяются для измерения общего давления газа, контроля откачки и вентиляции камер, мониторинга загрузочных шлюзов, интеграции в многоканальные измерительные системы и автоматизации вакуумных установок. Модели отличаются высокой точностью, стабильностью показаний, быстрым откликом и возможностью подключения к современным аналоговым и цифровым интерфейсам.

Принципы измерения и диапазоны

В зависимости от задачи и требуемого диапазона давления используются разные измерительные принципы:

• Пьезорезистивные датчики подходят для измерения абсолютного давления в области от атмосферного давления до низкого вакуума. Они устойчивы к загрязнениям, отличаются высокой надежностью и не зависят от типа газа.
• Датчики Пирани используют теплопроводность газа и применяются для быстрых и стабильных измерений в среднем вакууме.
• Комбинированные пьезорезистивные / Пирани датчики расширяют рабочий диапазон и позволяют контролировать процессы от грубого до глубокого вакуума.
• Датчики Пирани / Байярда-Альперта предназначены для высокого и сверхвысокого вакуума, где требуется измерение экстремально низких давлений.

Пьезорезистивные датчики VSC

Компактные цифровые пьезорезистивные аналоговые датчики THYRACONT серии VSC предназначены для измерения абсолютного давления в диапазоне от 1 до 1400 мбар. Благодаря прочному керамическому датчику VSC практически нечувствительны к грязи и загрязнениям.

• Коррозионностойкий керамический датчик из FKM.
• Высокая надежность и долгосрочная стабильность.
• Измерения не зависят от типа газа.
• Короткое время отклика до 20 мс.
• Совместимость с 1- и 2-канальными контроллерами Thyracont VD6/VD12.

Датчики Пирани VSP

Вакуумные датчики THYRACONT серии VSP построены на базе импульсного датчика Пирани с температурной компенсацией и измеряют общее давление газа в диапазоне от 1,0×10^-4 до 1000 мбар.

• Прочная эластичная спиральная нить датчика Пирани.
• Металлический экран для защиты от загрязнений, паров масла и растворителей.
• Металлически герметичная измерительная ячейка из нержавеющей стали.
• Устойчивость к избыточному давлению до 16 бар.
• Высокая надежность и превосходная воспроизводимость.
• Совместимость с контроллерами VD6/VD12.

Датчики для агрессивных газов VCP

Вакуумные датчики THYRACONT серии VCP измеряют общее давление газа в диапазоне от 1,0×10^-4 до 1000 мбар. Модификации с платинородиевой (Pt/Rh) нитью накаливания подходят для применений с агрессивными газами в диапазоне от 5,0×10^-4 до 1000 мбар.

• Высокая химическая стойкость благодаря платино-родиевой нити.
• Датчик Пирани с прочной эластичной спиральной нитью.
• Защита измерительной ячейки металлическим экраном.
• Расширенный диапазон измерения и высокое разрешение даже в области грубого вакуума.
• Металлически герметичная ячейка из нержавеющей стали.
• Устойчивость к избыточному давлению до 16 бар.

Комбинированные датчики VSL и VCL для загрузочных шлюзов

Серии VSL и VCL — это комбинированные вакуумметры типа пьезорезистивный / Пирани, предназначенные для контроля откачки, вентиляции и перепада давления в камерах и загрузочных шлюзах.

VSL измеряет общее давление газа в диапазоне от 1×10^-4 до 1200 мбар, а также относительное давление в диапазоне от -1060 до +360 мбар. VCL работает в диапазоне абсолютного давления от 5×10^-4 до 1200 мбар и также поддерживает измерение относительного давления.

• Два пьезорезистивных датчика для контроля откачки и вентиляции камеры.
• Датчик Пирани для контроля передачи низкого давления между загрузочным шлюзом и рабочей камерой.
• Выход дифференциального давления для точного запуска функции открытия двери.
• Короткое время отклика до 40 мс.
• Высокая точность, оптимальное разрешение и стабильные показания.
• Температурная компенсация и независимость от типа газа при давлении выше 20 мбар.

Комбинированные датчики VSR и VCR

Серии VSR и VCR — широкодиапазонные комбинированные вакуумметры на базе пьезорезистивного датчика и датчика Пирани. Они подходят для стабильного контроля давления в диапазоне до глубокого вакуума.

VSR измеряет давление в диапазоне от 1200 до 1×10^-4 мбар. Расширенная серия VSR с компактным исполнением охватывает диапазон от 5,0×10^-5 до 2000 мбар. VCR предназначена для работы с коррозионными газами и измеряет давление в диапазоне от 1200 до 5×10^-4 мбар.

• Высокая точность и оптимальное разрешение во всем диапазоне измерений.
• Отличная воспроизводимость и долгосрочная стабильность.
• Короткое время отклика: до 40 мс для стандартных моделей и до 18 мс для компактных VSR.
• Интегрированный металлический экран или облицовка для защиты от загрязнений.
• Регулируемый коэффициент коррекции для датчика Пирани.
• Устойчивость к избыточному давлению до 10 бар у компактных моделей.
• Оптическая светодиодная индикация состояния у компактных VSR.

Широкодиапазонные датчики VSH для высокого и сверхвысокого вакуума

Цифровые вакуумметры THYRACONT серии VSH — комбинированные датчики Пирани / горячий катод Байярда-Альперта с температурной компенсацией. Они измеряют общее давление в диапазоне от 5,0×10^-10до 1000 мбар.

Принцип Пирани используется для измерений в более высоких диапазонах давления, а датчик Байярда-Альперта ионизирует молекулы газа электронным потоком. Возникающий ионный ток пропорционален количеству молекул газа и используется для измерения абсолютного давления в области высокого и сверхвысокого вакуума.

• Комбинированный широкодиапазонный датчик Пирани / Байярда-Альперта.
• Высокая точность и повторяемость.
• Двойная нить накала Байярда-Альперта с иттриевым покрытием.
• Автоматическое управление горячим катодом с помощью Пирани.
• Повышенная долговечность за счет включения горячего катода при более низком давлении.
• Использование поправочных коэффициентов для разных газов.
• Ресурс, подтвержденный длительными испытаниями: до 100 000 циклов ударной вентиляции.

Интерфейсы, интеграция и эксплуатация

• Доступны аналоговые выходы 0–10 В и 4–20 мА в зависимости от модели.
• Поддерживаются цифровые интерфейсы, включая RS485, EtherCAT и Profinet.
• Модели с цифровым выходом можно настраивать, калибровать и диагностировать дистанционно.
• Датчики передают не только значение давления, но и служебные данные: статус, температуру и ошибки.
• Возможна сборка многоканальных измерительных систем с разными типами датчиков для контроля всего вакуумного процесса.
• Прочные корпуса, дисплеи в отдельных модификациях и удобные варианты подключения упрощают монтаж и обслуживание.

Области применения

• Научные исследования и лабораторные установки.
• Полупроводниковая промышленность и производство микрочипов.
• Вакуумные технологии и технологические камеры.
• Медицина и аналитическое оборудование.
• Аэрокосмическая отрасль.
• Холодильная техника и кондиционирование.