Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSH87D

product-card

Производитель Thyracont
Серия VSH
Страна Германия
Степень защиты IP54
Температура хранения -40 — +65
Время отклика, мс 50
Выходной сигнал 0–10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 1.219 — 8.6 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка., кроме EtherCAT, Profinet
Принцип измерения Пирани / Байярда-Альперта, зависимый от типа газа
Электрическое подключение SubD 15-полюсн, вилка, с фиксацией RS485/EtherCAT/Profinet: 1xM12 A / 2x M12 D, розетка

В корзину

Описание

Характеристики

Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSH87D — модель линейки VSH. В одном интеллектуальном приборе объединены теплопроводностный датчик Пирани и ионизационный датчик с горячим катодом.

Принцип работы

Датчик Пирани контролирует начальную и промежуточную стадии откачки. Он определяет давление по изменению теплопроводности остаточного газа. После достижения достаточно низкого давления автоматически включается горячий катод. Испускаемые катодом электроны ионизируют молекулы газа, а величина ионного тока используется для измерения высокого вакуума.

Автоматическое переключение позволяет использовать каждый сенсор только в оптимальном для него диапазоне. Горячий катод не включается при избыточно высоком давлении, что помогает защитить чувствительный элемент и увеличить его ресурс.

Преимущества серии

широкий диапазон измерения одним датчиком;
совмещение Пирани и горячего катода;
высокая чувствительность в области глубокого вакуума;
автоматическое согласование двух сенсоров;
непрерывное наблюдение за полным циклом откачки;
уменьшение количества вакуумных вводов;
возможность использования показаний в системе управления и защиты оборудования.

Практическое назначение

Датчик позволяет контролировать работу форвакуумной ступени, определять момент перехода к высоковакуумной откачке, подтверждать достижение рабочего давления и отслеживать его стабильность во время процесса.

Области применения

Серия используется в научном и аналитическом оборудовании, высоковакуумных установках, системах нанесения покрытий и других процессах, где требуется измерять давление от предварительного вакуума до глубокого высоковакуумного диапазона.

Производитель: Thyracont

Серия: VSH

Страна: Германия

Степень защиты: IP54

Температура хранения: -40 — +65

Время отклика, мс: 50

Выходной сигнал: 0–10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 1.219 — 8.6 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка., кроме EtherCAT, Profinet

Принцип измерения: Пирани / Байярда-Альперта, зависимый от типа газа

Электрическое подключение: SubD 15-полюсн, вилка, с фиксацией RS485/EtherCAT/Profinet: 1xM12 A / 2x M12 D, розетка

Потребляемая мощность: 2.5 Вт (0.8 Вт доп., реле, ЖКД)

Материалы, контактирующие с вакуумом: оксид иттрия

Диапазон измерений: 1000 — 5x10^-10 мбар (750 — 5x10^-10 торр)

Максимальное избыточное абсолютное давление, бар: 4

Точность измерения: 10 — 1 × 10^(-8) мбар: <10% от показания

Повторяемость: 5% (1x10^-2 — 1x10^-8 мбар)

Ток эмиссии: Автоматическое переключение 9 µA, 100 µA, 1 мА, 2 мА

Нить накаливания Байярда-Альперта: Иридий, покрытый иттрием

Дегазация: Нагрев анода электрическим током

Максимальная температура прогрева на фланце (с отсоединенной электроникой), °C: 180

Интерфейс: RS485: 9.6 — 115 Кбит/с, 8 бит данных, 1 стоп-бит, без контроля четности, EtherCAT, Profinet

Коммутационные выходы: 2 реле, беспотенциальные, 49 В AC / 2 А или 30 В DC / 2 А, максимум 60 ВА кроме EtherCAT, Profinet

Вакуумное соединение: DN 25 ISO-KF

ЖК-дисплей: Нет

Масса, г: 475

Скорость снятия показаний, с: IP54

Мин. напряжение питания (постоянный ток), В: 20

Макс. напряжение питания (постоянный ток), В: 30

Производитель Thyracont
Серия VSH
Страна Германия
Степень защиты IP54
Температура хранения -40 — +65
Время отклика, мс 50
Выходной сигнал 0–10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 1.219 — 8.6 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка., кроме EtherCAT, Profinet
Принцип измерения Пирани / Байярда-Альперта, зависимый от типа газа
Электрическое подключение SubD 15-полюсн, вилка, с фиксацией RS485/EtherCAT/Profinet: 1xM12 A / 2x M12 D, розетка