Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSH87PN

product-card

Производитель Thyracont
Серия VSH
Страна Германия
Температура хранения минус 40 плюс 65
Диапазон измерений, мбар 1000 – 5.0x10-9
Выходной сигнал 0–10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 1.219 — 8.6 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка., кроме EtherCAT, Profinet
Принцип измерения Пирани / Байярда-Альперта, зависимый от типа газа
Электрическое подключение SubD 15-полюсн, вилка, с фиксацией RS485/EtherCAT/Profinet: 1xM12 A / 2x M12 D, розетка
Материалы, контактирующие с вакуумом Нержавеющая сталь 1.4307, вольфрам, никель, стекло, платина, иридий, оксид иттрия

В корзину

Описание

Характеристики

Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSH87PN — модель линейки VSH. В одном интеллектуальном приборе объединены теплопроводностный датчик Пирани и ионизационный датчик с горячим катодом.

Принцип работы

Датчик Пирани контролирует начальную и промежуточную стадии откачки. Он определяет давление по изменению теплопроводности остаточного газа. После достижения достаточно низкого давления автоматически включается горячий катод. Испускаемые катодом электроны ионизируют молекулы газа, а величина ионного тока используется для измерения высокого вакуума.

Автоматическое переключение позволяет использовать каждый сенсор только в оптимальном для него диапазоне. Горячий катод не включается при избыточно высоком давлении, что помогает защитить чувствительный элемент и увеличить его ресурс.

Преимущества серии

широкий диапазон измерения одним датчиком;
совмещение Пирани и горячего катода;
высокая чувствительность в области глубокого вакуума;
автоматическое согласование двух сенсоров;
непрерывное наблюдение за полным циклом откачки;
уменьшение количества вакуумных вводов;
возможность использования показаний в системе управления и защиты оборудования.

Практическое назначение

Датчик позволяет контролировать работу форвакуумной ступени, определять момент перехода к высоковакуумной откачке, подтверждать достижение рабочего давления и отслеживать его стабильность во время процесса.

Области применения

Серия используется в научном и аналитическом оборудовании, высоковакуумных установках, системах нанесения покрытий и других процессах, где требуется измерять давление от предварительного вакуума до глубокого высоковакуумного диапазона.

Производитель: Thyracont

Серия: VSH

Страна: Германия

Температура хранения: минус 40 плюс 65

Диапазон измерений, мбар: 1000 – 5.0x10-9

Выходной сигнал: 0–10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 1.219 — 8.6 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка., кроме EtherCAT, Profinet

Принцип измерения: Пирани / Байярда-Альперта, зависимый от типа газа

Электрическое подключение: SubD 15-полюсн, вилка, с фиксацией RS485/EtherCAT/Profinet: 1xM12 A / 2x M12 D, розетка

Материалы, контактирующие с вакуумом: Нержавеющая сталь 1.4307, вольфрам, никель, стекло, платина, иридий, оксид иттрия

Максимальное избыточное абсолютное давление, бар: 4

Точность измерения: 1000 — 10 мбар: <30% от показания, 10 — 1 × 10^(-8) мбар: <10% от показания

Повторяемость: ±2% (10 — 1x10^-2 мбар), 5% (1x10^-2 — 1x10^-8 мбар)

Ток эмиссии: Автоматическое переключение 9 µA, 100 µA, 1 мА, 2 мА

Нить накаливания Байярда-Альперта: Иридий, покрытый иттрием

Дегазация: Нагрев анода электрическим током

Интерфейс: RS485: 9.6 — 115 Кбит/с, 8 бит данных, 1 стоп-бит, без контроля четности, EtherCAT, Profinet

Вакуумное соединение: DN25 ISO KF

ЖК-дисплей: Нет

Масса, г: 475

Скорость снятия показаний, с: IP40, IP54 с разъемом XB15SL07

Мин. напряжение питания (постоянный ток), В: 20

Макс. напряжение питания (постоянный ток), В: 30

Производитель Thyracont
Серия VSH
Страна Германия
Температура хранения минус 40 плюс 65
Диапазон измерений, мбар 1000 – 5.0x10-9
Выходной сигнал 0–10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 1.219 — 8.6 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка., кроме EtherCAT, Profinet
Принцип измерения Пирани / Байярда-Альперта, зависимый от типа газа
Электрическое подключение SubD 15-полюсн, вилка, с фиксацией RS485/EtherCAT/Profinet: 1xM12 A / 2x M12 D, розетка
Материалы, контактирующие с вакуумом Нержавеющая сталь 1.4307, вольфрам, никель, стекло, платина, иридий, оксид иттрия