- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Приборы измерения и контроля вакуума
- Вакуумметры
- Цифровые вакуумметры
- Широкодиапазонные вакуумметры
- Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSH89DL
Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSH89DL
Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSH89DL — модель линейки VSH. В одном интеллектуальном приборе объединены теплопроводностный датчик Пирани и ионизационный датчик с горячим катодом.
Принцип работы
Датчик Пирани контролирует начальную и промежуточную стадии откачки. Он определяет давление по изменению теплопроводности остаточного газа. После достижения достаточно низкого давления автоматически включается горячий катод. Испускаемые катодом электроны ионизируют молекулы газа, а величина ионного тока используется для измерения высокого вакуума.
Автоматическое переключение позволяет использовать каждый сенсор только в оптимальном для него диапазоне. Горячий катод не включается при избыточно высоком давлении, что помогает защитить чувствительный элемент и увеличить его ресурс.
Преимущества серии
- широкий диапазон измерения одним датчиком;
- совмещение Пирани и горячего катода;
- высокая чувствительность в области глубокого вакуума;
- автоматическое согласование двух сенсоров;
- непрерывное наблюдение за полным циклом откачки;
- уменьшение количества вакуумных вводов;
- возможность использования показаний в системе управления и защиты оборудования.
Практическое назначение
Датчик позволяет контролировать работу форвакуумной ступени, определять момент перехода к высоковакуумной откачке, подтверждать достижение рабочего давления и отслеживать его стабильность во время процесса.
Области применения
Серия используется в научном и аналитическом оборудовании, высоковакуумных установках, системах нанесения покрытий и других процессах, где требуется измерять давление от предварительного вакуума до глубокого высоковакуумного диапазона.
- Степень защиты
- IP54
- Температура хранения
- -40 — +65
- Время отклика, мс
- 50
- Выходной сигнал
- 0–10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 1.219 — 8.6 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка., кроме EtherCAT, Profinet
- Принцип измерения
- Пирани / Байярда-Альперта, зависимый от типа газа
- Электрическое подключение
- SubD 15-полюсн, вилка, с фиксацией RS485/EtherCAT/Profinet: 1xM12 A / 2x M12 D, розетка
- Материалы, контактирующие с вакуумом
- оксид иттрия
- Диапазон измерений
- 1000 — 5x10^-10 мбар (750 — 5x10^-10 торр)
- Максимальное избыточное абсолютное давление, бар
- 4
- Точность измерения
- 10 — 1 × 10^(-8) мбар: <10% от показания
- Повторяемость
- 5% (1x10^-2 — 1x10^-8 мбар)
- Ток эмиссии
- Автоматическое переключение 9 µA, 100 µA, 1 мА, 2 мА
- Нить накаливания Байярда-Альперта
- Иридий, покрытый иттрием
- Дегазация
- Нагрев анода электрическим током
- Максимальная температура прогрева на фланце (с отсоединенной электроникой), °C
- 180
- Интерфейс
- RS485: 9.6 — 115 Кбит/с, 8 бит данных, 1 стоп-бит, без контроля четности, EtherCAT, Profinet
- Коммутационные выходы
- 2 реле, беспотенциальные, 49 В AC / 2 А или 30 В DC / 2 А, максимум 60 ВА кроме EtherCAT, Profinet
- Вакуумное соединение
- DN 40 CF-F
- ЖК-дисплей
- Да
- Масса, г
- 475
- Скорость снятия показаний, с
- IP54
- Мин. напряжение питания (постоянный ток), В
- 20
- Макс. напряжение питания (постоянный ток), В
- 30
- Потребляемая мощность, Вт
- 0.800000
Настя МасловаС эрствак сотрудничали по закупке вакуумметров для лабораторной установки. Заказ не крупный, но нам важно было попасть в диапазон измерений и получить документацию для внутренней проверки. Сначала прислали несколько вариантов, потом наш инженер уточнил по совместимости с действующей системой. Ответы были по делу, с техническими пояснениями. Приборы приехали в согласованной комплектации, подключение прошло штатно. Сейчас используем их в ежедневной работе, показания стабильные.
ЕвгенияБыли закуплены вакуумметры MultiTorr. Удобный дисплей, нормальное сочетание цена/качество. Заказ был в январе, работают уже несколько месяцев, нареканий по качеству и оформлению заказа нет.
Виталий ГришинСравнивал большое количество поставщиков оборудования. Эрствак выиграл тем, что предлагает комплекс: это и имеющееся различное оборудование, его производство, имеют возможность что-то кастомизировать. Для нас такой формат удобен. Потому мы и заключили договор.
Иван ТихомировС Эрствак сотрудничаем с 2016 года. Это отличный проектировщик и поставщик оборудования. Предпочитаем покупать оборудование их собственной сборки, т.к. оно дешевле, чем импортные, а по качеству не особо им уступает. Так что не видим смысла переплачивать. Менеджерский состав компании подкован, всегда поможет подобрать нужное оборудование.
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: