Масс-спектрометры

ЭРСТВАК предлагает вакуумные масс-спектрометры для анализа остаточных газов, контроля газового состава и диагностики вакуумных систем. Мы подготовили краткое описание серий – оно поможет вам сориентироваться в нашем каталоге.

Серии Hiden Analytica

HAL – квадрупольные масс-спектрометры для измерений в условиях сверхвысокого вакуума. Подходят для вакуумной диагностики, включая контроль остаточных газов, десорбции/газовыделения и режимов прогрева/откачки.

HALO – системы для анализа остаточных газов и мониторинга вакуумной камеры, в том числе для поиска утечек и трендового контроля состава газов. Серия применяется в установках молекулярно-лучевой эпитаксии, где важны материалы исполнения и устойчивость к загрязнениям.

HAL/3F, HAL/3F 1000-9, HAL/3F PIC – системы с тремя фильтрами. Предназначены для анализа остаточных газов, когда требуется повышенная селективность/разрешение по массе.

HMT – масс-спектрометры для вакуумной диагностики и мониторинга процессов, где давление в камере выше типичных уровней для сверхвысокого вакуума (до 5×10⁻3 мбар).

DLS – ультравысокоразрешающие квадрупольные масс-спектрометры для анализа изотопов водорода и гелия и легких газов. Ключевая особенность серии – масс-фильтр, рассчитанный на ультравысокое разрешение для разделения близких по массе компонентов среди легких газов.

Серии LINXON

LIN – масс-спектрометры для газового анализа, поиска воздушных утечек и контроля загрязнений в вакуумных системах. Подходит для мониторинга процессов, когда важно отслеживать состав остаточных газов в камере в динамике.

Серии Stanford Research Systems

RGA – квадрупольные масс-спектрометры для газового анализа в вакуумных системах и технологических установках. Управление и обработка данных выполняются через программное обеспечение под Windows.

Серии Extorr

RGA – квадрупольные масс-спектрометры для мониторинга вакуумных систем и процессов. В зонде объединены масс‑спектрометрический модуль и встроенные датчики давления (Пирани и ионный датчик).