Для наполнения обрабатываемых приборов рабочей газовой смесью установка оснащена газоразрядной рампой на пять газовых галлонов. Для управления запорной вакуумной арматура установка поставляется с автономным малошумным воздушным компрессором.
Технические характеристики стенда для термовакуумной обработки
- Тип печи - ретортная вакуумная печь с горячими стенками.
- Нагреватели установлены снаружи.
- Мощность нагревателей - 7,25 кВт.
- Максимальная рабочая температура - 600 °С.
- Внутренний диаметр печи - 450 мм, высота - 600 мм.
- Камера имеет поднимаемый колпак.
- Внутри камеры установлена две термопары для контроля температуры и также установлена независимая термопара на нагревателях для контроля от перегрева.
- В вакуумной камере установлены 24 токоввода, рассчитанных на напряжение 5 кВ и ток 5 А.
- Установка имеет две независимые линии откачки - камеры и прибора.
- Каждая откачная система состоит из форвакуумного сухого спирального насоса и высоковакуумного турбомолекулярного насоса.
- Для откачки прибора предусмотрены шесть откачных фланцев.
- Все высоковакуумные откачные линии оснащены системой прогрева до 150 °С.
- Рабочий уровень вакуума в камере: 1x10-7 мбар.
- Рабочий уровень вакуума в приборе: 1x10-7 мбар.
Более подробную информацию о проекте, а также этапах разработки и производства стенда для термовакуумной обработки запрашивайте у инженеров компании.