Система состоит из:
- Гибридный турбомолекулярный насос TURBOVAC 350i.
- Спиральный насос ESVP-150.
- Система воздушного охлаждения.
- Стойка на колесиках.
- Система управления насосами, включающая контроллер и преобразователь частоты турбомолекулярного насоса.
- Быстрота действия по азоту: 290 л/с.
- Предельное остаточное давление: <1.0x10-8 мбар (мм рт. ст.).
- Быстрота действия спирального насоса: 7,5 м3/ч.
- Предельное давление спирального насоса: <0.01мбар.
- Время выхода на режим, мин: 5,5 мин.
- Питание эл/двиг. от сети переменного тока с частотой 50/60 Гц, напряжением: от 110 до 230 В.
- Потребляемая мощность, Вт: 240.
- Тип высоковакуумного фланца: DN100 ISO-K.
- Масса, кг: 30.
Более подробную информацию о проекте, а также этапах разработки и производства печи запрашивайте у инженеров компании.