Технические характеристики
- Производительность при 50 Гц, м3/ч: 100.
- Предельное остаточное давление: 5,0*10-3Торр.
- Перфторированое химостойкое масло для блока синхронизирующих шестерней: Fomblin Oil(25/6, Net).
- Мощность: 4кВт.
- Потребление мощности (фактическое): 2,2кВт.
- Размеры патрубков: Всасывающий: NW50; Нагнетательный: NW40.
- Уровень шума: 65 дБ.
- Расход охлаждающей воды: 3 л/мин.
- Масса: 210 кг.
- Габаритные размеры: 780х390х598 мм.
Специальные химозащитные опции (включено в стоимость):
- Химостойкие высокотемпературные уплотнения: Kalrez O-ring.
- Химостойкое покрытие роторов: PFA, NIFA, NIFLON (устойчивое к парам растворителей).
- Химостойкие механические уплотнения: Hastelloy C Mech. Seal.
- Химостойкая консистентная смазка подшипников: Special GreaseRT-15.
Комплект поставки вакуумного винтового безмаслянного насос NVS 120
- Химостойкий вакуумный винтовой безмасляный насос NVS 120. Производитель: ERSTEVAK Ltd.
- Фильтр-Ловушка POSI-TRAP 4" KF25 с нержавеющей фильтрующей микросеткой.
- Фильтрующий элемент Активированный оксид алюминия 9,5" Фильтрующий материал - активированный оксид алюминия (хорошо улавливает пары кислот, углеводороды, водяные пары и частицы).
- Фильтр-Ловушка POSI-TRAP 4" KF25 с нержавеющей фильтрующей микросеткой.
- Фильтрующий материал - SodaSorb (улавливает агрессивные коррозионные частицы, пары химикатов и нейтрализует пары кислот).
Преимущество данной системы откачки
- Постоянная производительность во всем диапазоне откачки.
- Снижено потребление электроэнергии на 30% в сравнении с аналогами.
- Снижена температура нагнетания до соответствия стандарту T4.
- Улучшенные показатели мощности и уровня вакуума.
- Компактность.
- Лучшая в классе откачная характеристика: нет падения производительности на высоких газовых нагрузках и при больших давлениях на входе.
- Высокая надежность, доказанная в различных областях промышленности.
- Оптимизированный винтовой ротор с переменным шагом и сокращенный путь газа в насосе.
- Водяное охлаждение: применение насосов с водяным охлаждением позволяет решить основные проблемы насосов с воздушным охлаждением, такие как высокий уровень шума и чувствительность к пыли.
- Удобны при транспортировке и работе.
- Удобное управление с внешней панели, также возможно дистанционное управление с пульта.
- Обладает низким уровнем шума, благодаря чему возможно использование в помещениях с соответствующими требованиями.
- Проверенное качество насоса и его надежность при работе в области производства полупроводниковых приборов.
- Высокая скорость откачки при малых размерах.
- Низкий уровень вибраций.
- Более простая и надежная конструкция, по сравнению с многоступенчатым насосом.
- Высокий ресурс работы.
- Простое и недорогое технического обслуживание.