В состав установки входит камера печи с двойными стенками для охлаждения, вакуумная система, система контроля и управления процессом и система водоохлаждения с замкнутым контуром.
С целью ускорения процесса охлаждения садки печь оснащена системой ускоренного охлаждения на базе центробежного вентилятора и теплообменника
|
Тип печи |
Вертикальная, элеваторная |
|
|
Максимальная температура |
1350 |
°С |
|
Материал нагревателей |
углерод-углеродный композиционный материал |
|
|
Предельное остаточное давление (после дегазации) |
1×10 -5 |
Мм. рт. ст. |
|
Размеры рабочего пространства диаметр высота |
400 600 |
мм |
|
Равномерность температурного поля в объеме рабочего пространства (после установления теплового равновесия в диапазоне температур от 800 до 1300 °С) |
± 5 |
°С |
|
Максимальная масса садки |
200 |
кг |
|
Рабочий газ |
Аргон/азот/гелий |
|
|
Давление газа |
До 1,5 |
бар |