30
(Опция): 25Основание для бутылок 1 шт.
Бутылки для подачи 4 шт.
Трубки для подачи 4 шт.
ø 30 мм на 6 позиций
(Опция): ø 40 мм на 3 позиции254, с магнитным диском
(Опция): 230, с магнитным диском
Пипетка 1 шт.
Шнур управления переключателем 1 шт.
Шнур питания 1 шт.
(Опция): Суспензия (500 мл/бутылка)
(Размеры частиц: 0.25, 0.5, 1, 1.5, 2.5, 3, 3.5, 5, 6, 7, 9, 10, 14, 15, 20, 28, 40 мкм)
2 шт. диагональные
(Опция): 4 шт. диагональные
(Опция): 2 шт. под углом 90°
Ионы аргона
(Опция): ионы ксенона
До 500 мкм/ч для кремния (шлифовка или травление с фиксированной точкой)
До 100 мкм/ч для кремния (плоскостное травление и полировка)
До 10 мкм/ч для кремния (полировка плоскостным травлением)