2 шт. диагональные
(Опция): 4 шт. диагональные
(Опция): 2 шт. под углом 90°
Ионы аргона
(Опция): ионы ксенона
До 500 мкм/ч для кремния (шлифовка или травление с фиксированной точкой)
До 100 мкм/ч для кремния (плоскостное травление и полировка)
До 10 мкм/ч для кремния (полировка плоскостным травлением)
0 ~ 6 кВ (полировка с низким энергопотреблением)
0 ~ 10 кВ (высокоэнергетическое травление)
Угол фрезерования |
0°~90° |
|
Пик плотности ионного тока |
10 мА/см2 |
|
Контроль расхода газа |
0~10мл/мин, регулируемый |
|
Размер пятна луча |
300 мкм~500 мкм и 1.5 мм~2.5 мм |
|
Размер образца, мм |
Ø0~Ø25 |
|
Столик для образца |
Вращаемый 360° |
|
Скорость вращения, об/мин |
6-10 |
|
Насосная система |
Механический насос + турбомолекулярный насос |
|
Максимальная степень вакуума |
5*10^-3 Па |
|
Измерение вакуума |
Цифровая система измерения вакуума |
|
Время вакуумирования для замены образца, мин |
2.5 |
|
Интерфейс |
10” цветной сенсорный экран, встроенный компьютер и система программного обеспечения позволяют установить все параметры, а затем автоматически начать обработку. Систему можно просматривать и контролировать с удаленного компьютера или мобильного телефона. |
|
Габариты, мм |
380х405х560 |
|
Вес, кг |
48 |
|
Потребляемая мощность |
>1кВт |
|
Электропитание |
220В±10% |
|
Аргон, psi |
25 |
Юридические лица
Физические лица