Конфокальный лазерный микроскоп OPTO-EDU A64.5401

Принцип измерения

Конфокальная оптическая система

Поле зрения

160х160 мкм ̴ 1.6×1.6 мм

Частота кадров сканирования

≥10Гц

Повторяемость измерений высоты

20×: 40 нм

50×: 20 нм

100×: 20 нм

Точность измерений высоты

± (0.2+L/100) мкм

Повторяемость измерений ширины

20×: 100 нм

50×: 50 нм

100×: 30 нм

Точность измерений ширины

± 2%

Предметный столик

Столик 210х210 мм с ходом 100х100х100 мм, нагрузка 10 кг, электрический метод управления

Питание

220В/50Гц постоянного тока

Высокоскоростное параллельное сканирование

Многоточечное параллельное сканирование профиля с помощью спининг-диска значительно повышает эффективность работы, и сканирование может быть завершено всего за несколько секунд.

Интегрированное программное обеспечение для измерения и анализа

1) Измерение и анализ выполняются на одном и том же интерфейсе, без переключения, измерение

данные подсчитываются автоматически, и реализована функция быстрого пакетного измерения

2) Визуальное окно для наблюдения за процессом сканирования в режиме реального времени

3) Автоматическое

завершение процесса измерения и анализа

4) Пять функциональных модулей геометрического анализа, анализа шероховатости, анализа структуры, частоты

анализ и функциональный анализ

Прецизионный джойстик

Регулировка смещения в трех направлениях X, Y и Z, может

быстро выполнять предварительные измерения, такие как перемещение столик и фокусировка по оси Z.