Оборудование

Датчики INFICON SemiQCM для мониторинга прекурсоров TDMAT

Картинка Датчики SemiQCM для мониторинга прекурсоров TDMAT
Тип:

Датчики SemiQCM для мониторинга прекурсоров TDMAT

ПРЕВОСХОДНАЯ ПОВТОРЯЕМОСТЬ

SemiQCM

Датчик SemiQCM ™ является одним из компонентов системы мониторинга прекурсоров TDMAT, другими компонентами являются: монитор осаждения IMM-200 и ПО FabGuard (версия 19.12.00-a или выше). 

Данное устройство можно использовать в полупроводниковой промыщленности для определение конца процесса и устранения неисправностей путем мониторинга количества прекурсора в форвакуумной линии или самой камере. Использование QCM обеспечивает доступный контроль и повышение эффективности процесса в производстве полупроводников.

Особенности

  • Данные QCM отслеживаются при 10 Гц
  • FabGuard коррелирует данные QCM, состояния приборов и этапы процесса
  • Точное измерение скорости осаждения или травления
  • Точное измерение толщины субмонослоя
  • Высокая чувствительность

Преимущества

  • Контроль процесса в реальном времени
  • Предотвращение чрезмерного травления
  • Определение неисправности оборудования или сбоя процесса

Области применения

  • Производство полупроводников

Характеристики

Тип

Датчики SemiQCM ™ для мониторинга прекурсоров TDMAT

Максимальная температура

200°C

Размер сенсорной головки (Максимальные габариты)

23.87 мм (внешний диаметр) x 29.19 мм (0.94 дюйм. (внешний диаметр) x 1.15 дюйм.)

Монтажный фланец

KF 40

Материалы

 

Корпус и держатель

Нержавеющая сталь 304

Пружины 

Бериллиево-медный сплав с золотым покрытием

Коаксиальная линия

Внешний диаметр: 5 мм (1.88 дюйм.) нержавеющая сталь

Остальные механические части

Нержавеющая сталь 304 или 18-8, сплав Hastelloy® c276

Изоляторы

>99% Al2O3 в вакууме: тефлон используется в остальных местах

Провода

1. никель (в вакууме) 2. Никель с медным покрытием (в остальных местах)

Припой

Вакуумный высокотемпературный сплав нихром

Кристалл

13.97 мм (0.550 дюйм.) диаметр

 

Конфигурации

Каталожный номер

Описание

750-7000-G5

Датчик QCM для полупроводников в сборе 50 мм

750-7000-G6

Датчик QCM для полупроводников в сборе 60 мм

750-7000-G7

Датчик QCM для полупроводников в сборе 70 мм

750-7000-G8

Датчик QCM для полупроводников в сборе 80 мм

750-7000-G9

Датчик QCM для полупроводников в сборе 90 мм

750-7000-G10

Датчик QCM для полупроводников в сборе 100 мм

750-7000-G11

Датчик QCM для полупроводников в сборе 110 мм

750-7000-G12

Датчик QCM для полупроводников в сборе 120 мм

750-7000-G13

Датчик QCM для полупроводников в сборе 130 мм

750-7000-G14

Датчик QCM для полупроводников в сборе 140 мм

750-7000-G15

Датчик QCM для полупроводников в сборе 150 мм

Расходные материалы

Каталожный номер

Описание

750-7013-G1S

Запасной держатель кристалла в сборе

750-1090-G10

Кристаллы сенсора, 6 МГц, сплав SC

 

Запасные части

Датчики SemiQCM для мониторинга прекурсоров TDMAT

Каталожный номер

Описание

007-023

Керамический фиксатор

750-171-P1

Контакт пружины пальца

750-7005-G1S

Держатель кристалла и стопорная пружина в сборе

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время клиентов!
Введите символы с картинки*
WhatsApp