Успеть или "как получится"?

Оборудование

Датчики INFICON SemiQCM для мониторинга прекурсоров TDMAT

Получить
Картинка Датчики SemiQCM для мониторинга прекурсоров TDMAT
Фильтры
По типу

Датчики SemiQCM для мониторинга прекурсоров TDMAT

ПРЕВОСХОДНАЯ ПОВТОРЯЕМОСТЬ

SemiQCM

Датчик SemiQCM ™ является одним из компонентов системы мониторинга прекурсоров TDMAT, другими компонентами являются: монитор осаждения IMM-200 и ПО FabGuard (версия 19.12.00-a или выше). 

Данное устройство можно использовать в полупроводниковой промыщленности для определение конца процесса и устранения неисправностей путем мониторинга количества прекурсора в форвакуумной линии или самой камере. Использование QCM обеспечивает доступный контроль и повышение эффективности процесса в производстве полупроводников.

Особенности

  • Данные QCM отслеживаются при 10 Гц
  • FabGuard коррелирует данные QCM, состояния приборов и этапы процесса
  • Точное измерение скорости осаждения или травления
  • Точное измерение толщины субмонослоя
  • Высокая чувствительность

Преимущества

  • Контроль процесса в реальном времени
  • Предотвращение чрезмерного травления
  • Определение неисправности оборудования или сбоя процесса

Области применения

  • Производство полупроводников

Характеристики

Тип

Датчики SemiQCM ™ для мониторинга прекурсоров TDMAT

Максимальная температура

200°C

Размер сенсорной головки (Максимальные габариты)

23.87 мм (внешний диаметр) x 29.19 мм (0.94 дюйм. (внешний диаметр) x 1.15 дюйм.)

Монтажный фланец

KF 40

Материалы

 

Корпус и держатель

Нержавеющая сталь 304

Пружины 

Бериллиево-медный сплав с золотым покрытием

Коаксиальная линия

Внешний диаметр: 5 мм (1.88 дюйм.) нержавеющая сталь

Остальные механические части

Нержавеющая сталь 304 или 18-8, сплав Hastelloy® c276

Изоляторы

>99% Al2O3 в вакууме: тефлон используется в остальных местах

Провода

1. никель (в вакууме) 2. Никель с медным покрытием (в остальных местах)

Припой

Вакуумный высокотемпературный сплав нихром

Кристалл

13.97 мм (0.550 дюйм.) диаметр

 

Конфигурации

Каталожный номер

Описание

750-7000-G5

Датчик QCM для полупроводников в сборе 50 мм

750-7000-G6

Датчик QCM для полупроводников в сборе 60 мм

750-7000-G7

Датчик QCM для полупроводников в сборе 70 мм

750-7000-G8

Датчик QCM для полупроводников в сборе 80 мм

750-7000-G9

Датчик QCM для полупроводников в сборе 90 мм

750-7000-G10

Датчик QCM для полупроводников в сборе 100 мм

750-7000-G11

Датчик QCM для полупроводников в сборе 110 мм

750-7000-G12

Датчик QCM для полупроводников в сборе 120 мм

750-7000-G13

Датчик QCM для полупроводников в сборе 130 мм

750-7000-G14

Датчик QCM для полупроводников в сборе 140 мм

750-7000-G15

Датчик QCM для полупроводников в сборе 150 мм

Расходные материалы

Каталожный номер

Описание

750-7013-G1S

Запасной держатель кристалла в сборе

750-1090-G10

Кристаллы сенсора, 6 МГц, сплав SC

 

Запасные части

Датчики SemiQCM для мониторинга прекурсоров TDMAT

Каталожный номер

Описание

007-023

Керамический фиксатор

750-171-P1

Контакт пружины пальца

750-7005-G1S

Держатель кристалла и стопорная пружина в сборе

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!
Введите символы с картинки*
WhatsApp