Производитель: Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Температура хранения: -40 — +65
Время отклика, мс: <50 мс на подключение тока эмиссии БА
Степень защиты: IP54
Подробности
Цифровой вакуумметр THYRACONT серии VSH представляет собой комбинированный вакуумный датчик, реализованный на базе датчика Пирани/Горячий катод (Байярда-Альперта) с температурной компенсацией, и измеряет общее давление в диапазоне 5.0x10-10 - 1000 мбар.
Принцип Пирани использует теплопроводность газов для измерения вакуума. Нить накала датчика в цепи Уитстона нагревается до постоянной температуры, поэтому напряжение на мостике является показателем общего давления газа. Датчик с горячим катодом типа Байярда-Альперта ионизирует молекулы газа путем бомбардировки электронами. Результирующий ионный ток является мерой количества молекул газа, присутствующих в датчике, и пропорционален абсолютному давлению.
Особенности
-
Комбинированный датчик широкого диапазона Пирани / Байярда-Альперта
-
Высокая точность и повторяемость
-
Датчик типа Байярда-Альперта с двойной нитью накала, устойчивой к потоку газа, с иттриевым покрытием
-
Длительные испытания подтверждают длителльный срок службы: до 100 000 циклов ударной вентиляции
-
Включение горячего катода при более низком давлении повышает долговечность
-
Автоматическое управление горячим катодом с помощью Пирани
-
Точное измерение давления за счет использования поправочных коэффициентов для разного типа газов для датчиков Пирани и горячий катод
|
Модель |
Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSH87D |
Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSH88D |
Комбинированный вакуумметр VSH89D |
Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSH87DL |
|
Принцип измерения |
Пирани / Байярда-Альперта, зависимый от типа газа |
|||
|
Материалы, контактирующие с вакуумом |
Нержавеющая сталь 1.4307, вольфрам, никель, стекло, платина, иридий, оксид иттрия |
|||
|
Диапазон измерений |
1000 - 5x10^-10 мбар (750 - 5x10^-10 торр) |
|||
|
Максимальное избыточное абсолютное давление, бар |
4 |
|||
|
Точность измерения |
1000 - 10 мбар: <30% от показания 10 - 1 x 10-8 мбар: <10% от показания |
|||
|
Повторяемость |
±2% (10 - 1x10^-2 мбар), 5% (1x10^-2 - 1x10^-8 мбар) |
|||
|
Время отклика, мс |
50 мс (переключение тока эмиссии < 2 с) |
|||
|
Ток эмиссии |
Автоматическое переключение 9 µA, 100 µA, 1 мА, 2 мА |
|||
|
Нить накаливания Байярда-Альперта |
Иридий, покрытый иттрием |
|||
|
Дегазация |
Нагрев анода электрическим током |
|||
|
Рабочая температура, °C |
+5...+60 (Profinet +5 … +50) |
|||
|
Температура хранения, °C |
-40...+65 |
|||
|
Максимальная температура вакуума |
180°C на фланце (гальванически развязан с электронными компонентами) |
|||
|
Электропитание |
20 - 30 В постоянного тока |
|||
|
Потребляемая мощность, мВт |
2.5 Вт (0.8 Вт доп., реле, ЖКД) |
0.8 Вт |
||
|
Выходной сигнал |
0–10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 1.219 … 8.6 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка., кроме EtherCAT, Profinet |
|||
|
Интерфейс |
RS485: 9.6...115 Кбит/с, 8 бит данных, 1 стоп-бит, без контроля четности, EtherCAT, Profinet |
|||
|
Электрическое подключение |
SubD 15-полюсн, вилка, с фиксацией |
|||
|
Коммутационные выходы |
2 реле, беспотенциальные, 49 В переменного тока / 2 А или 30 В постоянного тока / 2 А, максимум 60 ВА кроме EtherCAT, Profinet |
|||
|
Вакуумное соединение |
DN 25 ISO-KF |
DN 40 ISO-KF |
DN 40 CF-F |
DN 25 ISO-KF |
|
ЖК-дисплей |
нет |
нет |
нет |
да |
|
Степень защиты |
IP54 |
|||
|
Масса, г |
|
475 |
|
|
|
Модель |
VSH88DL |
VSH89DL |
VSH87E |
VSH88E |
VSH89E |
|
Принцип измерения |
Пирани / Байярда-Альперта, зависимый от типа газа |
||||
|
Материалы, контактирующие с вакуумом |
Нержавеющая сталь 1.4307, вольфрам, никель, стекло, платина, иридий, оксид иттрия |
||||
|
Диапазон измерений |
1000 - 5x10^-10 мбар (750 - 5x10^-10 торр) |
||||
|
Максимальное избыточное абсолютное давление, бар |
4 |
||||
|
Точность измерения |
1000 - 10 мбар: <30% от показания 10 - 1 x 10-8 мбар: <10% от показания |
||||
|
Повторяемость |
±2% (10 - 1x10^-2 мбар), 5% (1x10^-2 - 1x10^-8 мбар) |
||||
|
Время отклика, мс |
50 мс (переключение тока эмиссии < 2 с) |
||||
|
Ток эмиссии |
Автоматическое переключение 9 µA, 100 µA, 1 мА, 2 мА |
||||
|
Нить накаливания Байярда-Альперта |
Иридий, покрытый иттрием |
||||
|
Дегазация |
Нагрев анода электрическим током |
||||
|
Рабочая температура, °C |
+5...+60 (Profinet +5 … +50) |
||||
|
Температура хранения, °C |
-40...+65 |
||||
|
Максимальная температура вакуума |
180°C на фланце (гальванически развязан с электронными компонентами) |
||||
|
Электропитание |
20 - 30 В постоянного тока |
||||
|
Потребляемая мощность, мВт |
0.8 Вт |
||||
|
Выходной сигнал |
0–10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 1.219 … 8.6 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка., кроме EtherCAT, Profinet |
||||
|
Интерфейс |
RS485: 9.6...115 Кбит/с, 8 бит данных, 1 стоп-бит, без контроля четности, EtherCAT, Profinet |
||||
|
Электрическое подключение |
SubD 15-полюсн, вилка, с фиксацией RS485/EtherCAT/Profinet: 1xM12 A / 2x M12 D, розетка |
||||
|
Коммутационные выходы |
2 реле, беспотенциальные, 49 В переменного тока / 2 А или 30 В постоянного тока / 2 А, максимум 60 ВА кроме EtherCAT, Profinet |
||||
|
Вакуумное соединение |
DN 40 ISO-KF |
DN 40 CF-F |
DN 25 ISO-KF |
DN 40 ISO-KF |
DN 40 CF-F |
|
ЖК-дисплей |
да |
да |
нет |
нет |
нет |
|
Степень защиты |
IP54 |
||||
|
Масса, г |
475 |
|
|
475 |
|