Оборудование
Производители
Вакуумные печи
Вакуумные печи
Вакуумная печь – это промышленная термоустановка, которая позволяет проводить обработку различных материалов (преимущественно металлов и их сплавов) в условиях повышенной температуры и низкого давления

Установка LPCVD химического осаждения из газовой фазы

Получить

Описание

Установка LPCVD химического осаждения из газовой фазы – оборудование, предназначенное для формирования пленок на обрабатываемом материале путем химической реакции прекурсоров на подложке в условиях пониженного давления. Технологический процесс предусматривает подачу газовой смеси в рабочую камеру, которая обеспечивает перенос летучих компонентов к подложке.

Максимальные параметры предельного давления значатся на уровне 0,1 Па, в качестве рабочих материалов выступают: Al2O3, кварц, углерод. Предельная рабочая температура оборудования составляет 1800°С, точность управления температурными изменениями соответствует ± 1°С.

Фото

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!
Введите символы с картинки*
WhatsApp