По серии
EVD
Вакуумный насос ERSTEVAK EVDM-250
Тип: Диффузионный
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Габаритные размеры, мм:
475х460х560
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Предельное остаточное давление, мбар: 7*10^-7
Страна: КНР
Производительность по азоту, л/с: 3500
Вакуумный насос ERSTEVAK EVD 12000 L
Тип: Диффузионный
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Габаритные размеры, мм:
940х815х1010
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Предельное остаточное давление, мбар: 7*10^-7
Страна: КНР
Производительность по азоту, л/с: 12000
Диффузионные насосы успешно используют в вакуумных системах с невысокими требованиями к чистоте получаемого вакуума, так как обратный отток паров масла из всех диффузионных насосов в откачиваемую систему составляет примерно 10-2 мбар.
Насосы широко применяются в различных отраслях - в полупроводниковой, химической, авиационной и атомной промышленностях.
Достоинства серии:
- Высокая скорость откачки.
- Надёжность.
- Долгий срок службы без техобслуживания.
Технические характеристики
Таблица 1. Диффузионные насосы ERSTEVAK EVD производительностью 550 - 12 000 л/с.
| Модель | EVD-100 | EVD-160 | EVD-200 | EVD-250 | EVD-300 | EVD-320 | EVD-400 | EVD-500 | |
| Предельное остаточное давление, Па | 5x10-5 | ||||||||
| Быстрота действия, л/с | 550 | 1800 | 2800 | 3500 | 4600 | 5000 | 8500 | 12000 | |
| Максимальное форвакуумное давление, Па | 40 | ||||||||
| Время нагрева, мин | ≤30 | ≤35 | ≤40 | ≤45 | |||||
| Мощность нагрева, кВт | 0,8-1 | 1,4-1,6 | 1,6-1,8 | 2,2-2,4 | 2,4-3 | 4-5 | 4-5 | 6-8 | |
| Напряжение питания, В | 220 | 380 | |||||||
| Объём масла KS-3, л | 0,15 | 0,45 | 0,55 | 1-1,4 | 1-1,6 | 1,4-1,8 | 3-4 | 4 | |
| Потребление охлаждающей жидкости, л/час | 180 | 250 | 300 | 350 | 400 | 420 | 500 | 600 | |
| Всасывающий патрубок, мм | 100 | 160 | 200 | 250 | 300 | 320 | 400 | 500 | |
| Фланец на выходе, мм | 32 | 50 | 65 | 65 | 80 | 80 | 100 | 100 | |
| Рекомендованная производительность форвакуумного насоса, л/с | 4 | 8 | 15 | 15 | 30 | 30 | 70 | 150 | |
| Габаритные размеры, мм | Длина | 320 | 420 | 530 | 473 | 695 | 725 | 885 | 1010 |
| Ширина | 260 | 315 | 390 | 450 | 505 | 525 | 665 | 815 | |
| Высота | 365 | 505 | 575 | 650 | 726 | 830 | 925 | 1165 | |
| Вес, кг | 14 | 31 | 39 | 48 | 89 | 100 | 175 | 185 | |
Таблица 2. Диффузионные насосы ERSTEVAK EVD производительностью 17 500 - 130 000 л/с.
| Модель | EVD-600 | EVD-630 | EVD-800 | EVD-900 | EVD-1000 | EVD-1200 | EVD-1400 | EVD-1600 | |
| Предельное остаточное давление, Па | 5x10-5 | ||||||||
| Быстрота действия, л/с | 17 500 | 20 000 | 30 000 | 40 000 | 50 000 | 60 000 | 90 000 | 130 000 | |
| Максимальное форвакуумное давление, Па | 40 | ||||||||
| Время нагрева, мин | ≤50 | ≤60 | ≤65 | ≤70 | ≤80 | ≤90 | |||
| Мощность нагрева, кВт | 8-9 | 9-11 | 13-13,5 | 14-16 | 17-20 | 29-30 | 38-40 | 48-50 | |
| Напряжение питания, В | 380 | ||||||||
| Объём масла KS-3, л | 6-7 | 7-8 | 12-14 | 14-15 | 15-16 | 22 | 38 | 50 | |
| Потребление охлаждающей жидкости, л/час | 800 | 850 | 1200 | 1350 | 1500 | 2600 | 3400 | 4300 | |
| Всасывающий патрубок, мм | 600 | 630 | 800 | 900 | 1000 | 1200 | 1400 | 1600 | |
| Фланец на выходе, мм | 150 | 160 | 200 | 200 | 300 | 300 | 320 | 320 | |
| Рекомендованная производительность форвакуумного насоса, л/с | 300 | 600 | 600 | 600 | 1200 | 1200 | 1200 | 2500 | |
| Габаритные размеры, мм | Длина | 1145 | 1170 | 1520 | 1843 | 1990 | 2235 | 2556 | 2900 |
| Ширина | 975 | 1010 | 1275 | 1283 | 1290 | 1750 | 1950 | 2100 | |
| Высота | 1444 | 1275 | 1870 | 1950 | 2220 | 2465 | 2950 | 3355 | |
| Вес, кг | 375 | 420 | 670 | 830 | 990 | 1500 | 2150 | 2500 | |