Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I7
Тип: Промышленная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Предельный вакуум, Па:
1
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Масса, кг: 400
Скорость откачки, м³/ч: 60
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I5
Тип: Промышленная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Предельный вакуум, Па:
1
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Масса, кг: 350
Скорость откачки, м³/ч: 60
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I3
Тип: Промышленная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Предельный вакуум, Па:
1
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Масса, кг: 180
Скорость откачки, м³/ч: 16
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I1
Тип: Промышленная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Предельный вакуум, Па:
1
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Масса, кг: 85
Скорость откачки, м³/ч: 16
Система плазменной обработки подложек ERSTEVAK EV-PLASMA-W2
Тип: Система
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Предельный вакуум, Па:
1
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Масса, кг: 80
Скорость откачки, м³/ч: 16
Система плазменной обработки подложек ERSTEVAK EV-PLASMA-W1
Тип: Система
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Предельный вакуум, Па:
1
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Вакуумметр: SMC
Масса, кг: 80
Скорость откачки, м³/ч: 16
