- Вакуумные печи
- Дегазация
- Имитация космического пространства
- Контроль герметичности
- Осушка трубопроводов
- Применение лабораторного оборудования
- Системы централизованного вакуума
- Сублимационная сушка
- Ускорители заряженных частиц
- Экранно-вакуумная изоляция
Оборудование для нанесения тонких пленок
Фильтры
Установки для производства микроэлектроники – вакуумное оборудование, обеспечивающее высокоточное нанесение тонкопленочных покрытий на образцы методами напыления и осаждения с использованием мишеней из различных металлов в рамках выполнения технологических задач для лабораторий, промышленных предприятий и наукоемких производств. В категорию оборудования входят установки:
- Термического испарения;
- Электронно-лучевого напыления;
- Сухого травления (Dry Etch);
- Напыления с DC/RF магнетроном;
- Атомно-слоевого осаждения (ALD);
- Высоковакуумные агрегаты (UHV);
- CVD и PVD кластеры.
Агрегаты также обеспечивают выполнение процессов химического осаждения, отжига, плазменной очистки и охлаждения образцов. Оборудование включает как автономные установки узконаправленного действия, так и кластерные системы с универсальной блочной структурой, обеспечивающие реализацию широко спектра задач. Установки задействованы в технологических циклах производства электронных компонентов, полупроводников, оптических изделий, плоских дисплеев, солнечных батарей, при обработке деталей из металлов и сплавов.