Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим, мин: 7
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим, мин: 7
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим, мин: 7
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим, мин: 2
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим, мин: 2
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим, мин: 2
ERSTEVAK Ltd. - официальный представитель компании EBARA
Являемся эксклюзивным дилером продукции EBARA на территории России и стран СНГ. Это позволяет нам предлагать продукцию EBARA с лучшими условиями и гарантировать качество поставляемой продукции с предоставлением послепродажного сервисного обслуживания. Изготовление оборудования происходит в Японии, которая славится своей культурой производства.
Серия EBT представлена турбомолекулярными насосами с керамическими подшипниками с консистентной смазкой.
Эти насосы обеспечивают высокую скорость откачки и могут быть использованы в условиях частого напуска атмосферы (шлюзовые камеры). В конструкции применена интегрированная молекулярная ступень.
Особенности и преимущества
- Любая ориентация при установке.
- Лучшие показатели по потоку откачиваемого газа.
- Непревзойдённая надежность.
- Уникальная конструкция подшипникового узла, способная выдерживать резкие скачки давления при прорыве атмосферы.
- Высокая стойкость к вибрационным нагрузкам.
- Возможность установки на подвижные части вакуумной камеры.
- Низкое энергопотребление.
- Опционально коррозионностойкое исполнение.
- Водяное или воздушное охлаждение.
- Компактные размеры.
- Система автоматической калибровки и стабилизации положения подшипниковых узлов.
Области применения
- Полупроводниковая и микроэлектронная промышленность.
- Плазмохимическое травление.
- Производство оптических элементов
- Вакуумные печи.
- Производство композитных материалов.
- Научно-исследовательские установки.
Технические характеристики
Характеристики моделей | EBT70F | EBT220F | EBT240F | EBT350F | EBT450F |
Быстрота действия по азоту (водороду), л/с | 75 (45) | 220 (100) | 240 (160) | 330 (210) | 450 (240) |
Предельное остаточное давление, Па | 10-7 | 10-6 | 5x10-7 | 10-6 | 10-6 |
Максимальная степень сжатия по азоту | 108 | 108 | 108 | 108 | 108 |
Размер фланцев (вход/выход) | NW63/KF16 | NW100/KF25 | NW100/KF25 | NW100/KF25 | NW160/KF25 |
Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса – более, л/мин | 25 | 80 | 80 | 80 | 80 |
Время запуска, мин | 2-2,5 | 1-1,2 | 5,5-7,5 | 2-2,5 | 2-2,5 |
Время остановки, мин | 20-25 | 2,5-3,5 | 45-50 | 5-6,5 | 5-6,5 |
Масса, кг | 5 | 8 | 10,5 | 6 | 10 |
Характеристики моделей | EBT800F | EBT1100F | EBT1400F | EBT2400F | |||
Быстрота действия по азоту (водороду), л/с | 820 (650) | 1100 (720) | 1400 (750) | 2400 (1100) | |||
Предельное остаточное давление, Па | 10-6 | 10-6 | 10-6 | 10-6 | |||
Максимальная степень сжатия по азоту | 108 | 108 | 108 | 108 | |||
Размер фланцев (вход/выход) | NW160/KF40 | NW200/KF40 | NW200/KF40 | NW250/KF40 | |||
Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса – более, л/мин | 250 | 250 | 250 | 500 | |||
Время запуска, мин | 7-9 | 7-9 |
5,5-7 |
5-7 |
|||
Время остановки, мин | 27-32 | 27-32 | 15-18 |
15-18 |
|||
Масса, кг | 27 | 27 |
29 |
47 |
О компании EBARA
Компания EBARA Technologies Inc. является признанным мировым лидером по производству вакуумного оборудования для различных областей науки и техники. В линейке компании представлены турбомолекулярные насосы, сухие форвакуумные насосы, скрубберы для утилизации вредных газов в производстве, оборудование для микроэлектроники и оптической промышленности.
Скачать каталог