9-12 ноября ЭРСТВАК примет участие в выставке "ХИМИЯ-2026"

Турбомолекулярные насосы EBARA

На этой странице вы можете выбрать турбомолекулярные насосы EBARA — а мы оперативно поможем подобрать подходящую модель и найдем индивидуальное решение для вашей задачи.

ЭРСТВАК предлагает оборудование для получения высокого и сверхвысокого вакуума в научных и технологических установках. Краткое описание серий поможет вам сориентироваться в нашем каталоге.

EBT – турбомолекулярные насосы с керамическим подшипником на консистентной смазке. Предназначены для высокого и сверхвысокого вакуума в полупроводниковых, фотоэлектрических, тонкоплёночных и аналитических системах.

EMT – турбомолекулярные насосы с пятикоординатным магнитным подвесом ротора. Бесконтактная опора снижает механическое взаимодействие и подходит для высоковакуумных систем, работающих совместно с форвакуумной ступенью.

Фильтры

ЭРСТВАК предлагает оборудование для получения высокого и сверхвысокого вакуума в научных и технологических установках. Краткое описание серий поможет вам сориентироваться в нашем каталоге.

EBT – турбомолекулярные насосы с керамическим подшипником на консистентной смазке. Предназначены для высокого и сверхвысокого вакуума в полупроводниковых, фотоэлектрических, тонкоплёночных и аналитических системах.

EMT – турбомолекулярные насосы с пятикоординатным магнитным подвесом ротора. Бесконтактная опора снижает механическое взаимодействие и подходит для высоковакуумных систем, работающих совместно с форвакуумной ступенью.

Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT70F-RAB Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT70F-RAB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 270
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000001
  • Входной патрубок: ISO-K63
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT70F-RNB Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT70F-RNB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 270
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000001
  • Входной патрубок: ISO-K63
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT70F-CNB Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT70F-CNB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 270
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000001
  • Входной патрубок: CF63
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT70F-CAB Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT70F-CAB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 270
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000001
  • Входной патрубок: CF63
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT70F-RNB20Т Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT70F-RNB20Т
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 270
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000001
  • Входной патрубок: ISO-K63
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT70F-RAB20 Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT70F-RAB20
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 270
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000001
  • Входной патрубок: ISO-K63
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT70F-CNB20 Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT70F-CNB20
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 270
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000001
  • Входной патрубок: CF63
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT70F-CAB20 Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT70F-CAB20
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 270
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000001
  • Входной патрубок: CF63
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT240F-RAB Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT240F-RAB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 864
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000005
  • Входной патрубок: ISO-K100
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT240F-CAB Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT240F-CAB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 864
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000005
  • Входной патрубок: CF100
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT240F-CAB-20 Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT240F-CAB-20
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 864
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000005
  • Входной патрубок: CF100
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT240F-RAB-20 Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT240F-RAB-20
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 864
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.000000005
  • Входной патрубок: ISO-K100
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT220F-RAB Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT220F-RAB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 792
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
  • Входной патрубок: ISO-K100
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT220F-RWB Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT220F-RWB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 792
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
  • Входной патрубок: ISO-K100
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT220F-CAB Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT220F-CAB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 792
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
  • Входной патрубок: CF100
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT220F-CWB Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT220F-CWB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 792
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
  • Входной патрубок: CF100
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT350F-RAB Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT350F-RAB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 1188
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
  • Входной патрубок: ISO-K100
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT350F-RWB Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT350F-RWB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 1188
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
  • Входной патрубок: ISO-K100
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT350F-CAB Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT350F-CAB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 1188
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
  • Входной патрубок: CF100
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT350F-CWB Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT350F-CWB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 1188
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
  • Входной патрубок: CF100
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT450F-BAB Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT450F-BAB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 1620
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
  • Входной патрубок: ISO-F160
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT450F-BWB Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT450F-BWB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 1620
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
  • Входной патрубок: ISO-F160
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT450F-СAB Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT450F-СAB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 4.788
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
  • Входной патрубок: CF160
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT450F-CWB Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT450F-CWB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 1620
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.00000001
  • Входной патрубок: CF160
В корзину
1
desc

Турбомолекулярные насосы EBARA — это высоковакуумное оборудование для создания высокого и сверхвысокого вакуума в технологических и исследовательских системах. В каталоге EBARA представлены серии EMT и EBT, которые отличаются конструктивным исполнением, особенностями охлаждения, управления и возможностями применения. Купить турбомолекулярные насосы EBARA можно с доставкой по всей России.

Навигация по статье

Описание

EBARA предлагает турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом для вакуумных систем, в которых требуются высокая скорость откачки, стабильная работа и получение высокого или сверхвысокого вакуума. Линейка включает несколько вариантов исполнения, рассчитанных на различные технологические задачи.

Насосы EBARA могут использоваться в системах полупроводникового производства, фотогальваники, научных исследований, аналитического оборудования и других установках, где предъявляются повышенные требования к характеристикам вакуумной откачки.

Турбомолекулярные насосы EBARA

В каталоге представлены серии EMT и EBT. Серия EMT включает четыре типа турбомолекулярных насосов с магнитным подвесом, в том числе исполнения с терморегулированием, коррозионностойким покрытием, низким уровнем вибраций и для сверхвысокого вакуума. Серия EBT представляет турбомолекулярные насосы с интегрированными молекулярными ступенями и механическими подшипниками.

Серия EMT

Серия EMT объединяет турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом, предназначенные для работы в широком диапазоне давлений. В зависимости от исполнения оборудование может использоваться для задач, где важны терморегулирование, коррозионная стойкость, минимальный уровень вибраций или достижение сверхвысокого вакуума.

Насосы серии EMT оснащаются функциями автоматической калибровки, дистанционного управления и мониторинга. Для оборудования доступны варианты воздушного или водяного охлаждения, а также исполнения с контролируемым прогревом, продувкой азотом, запорными клапанами и другими дополнительными опциями.

Серия применяется в полупроводниковой, фотогальванической и неполупроводниковой промышленности, включая травление, осаждение из паровой фазы, тонкоплёночные покрытия, работу загрузочных шлюзов, сканирующую электронную микроскопию и аналитическое оборудование.

Серия EBT

Серия EBT включает турбомолекулярные насосы с интегрированными молекулярными ступенями и механическими подшипниками. Такая конструкция дополняет модельный ряд турбомолекулярных насосов EBARA и предназначена для высоковакуумных производственных процессов.

Насосы серии EBT отличаются высокоэффективной конструкцией, обеспечивающей чистую и надежную откачку. Оборудование может устанавливаться в различных положениях, а в зависимости от исполнения предусматриваются воздушное или водяное охлаждение и дополнительные элементы для работы с различными технологическими средами.

Серия EBT применяется в ядерной физике, ускорителях и установках для работы с пучками частиц, системах имитации космического пространства, аналитических приборах, электронно-лучевых и рентгеновских трубках, при создании вакуума для источников ионов или электронных пушек, а также при нанесении покрытий, напылении и других вакуумных процессах.

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!