Вакуумные насосы EBARA

Вакуумные насосы EBARA — это оборудование для создания высокого, сверхвысокого и промышленного вакуума в технологических, исследовательских и производственных системах. В ассортимент EBARA входят сухие винтовые и турбомолекулярные насосы, предназначенные для различных условий эксплуатации и задач вакуумной откачки. Купить вакуумные насосы EBARA можно с доставкой по всей России.

Навигация по статье

Описание

EBARA выпускает вакуумные насосы для систем, в которых важны стабильная производительность, чистота откачки и надежность при продолжительной эксплуатации. Оборудование применяется в вакуумных печах, производстве полупроводников и микроэлектроники, нанесении покрытий, PVD/CVD-процессах, научно-исследовательских установках и других технологических системах.

В зависимости от требований к вакуумной системе используются сухие винтовые насосы или турбомолекулярные насосы. Винтовые модели рассчитаны в том числе на высокую газовую нагрузку, работу с агрессивными средами и процессы, где требуется безмасляная откачка. Турбомолекулярные насосы предназначены для получения высокого и сверхвысокого вакуума и представлены исполнениями с различными системами подвески ротора.

Вакуумные насосы EBARA

Винтовые вакуумные насосы

Винтовые вакуумные насосы EBARA представлены сухими моделями серий ESA, ESR, EST, EV-M, EV-PA и EV-S. В зависимости от исполнения оборудование рассчитано на стандартные технологические процессы, высокую газовую нагрузку, откачку агрессивных сред и применение в чистых производствах.

Серии ESA, ESR и EST используют многоступенчатую конструкцию с бустерной ступенью типа Рутс. Такие насосы обеспечивают высокую скорость откачки в широком диапазоне давлений и могут применяться при повышенном содержании водорода, высокой температуре и работе с агрессивными газами. В конструкциях используются коррозионностойкие материалы, включая никелевые сплавы.

Насосы серий EV-M и EV-S предназначены для технологических процессов с повышенными требованиями к химической стойкости и эффективности. EV-M рассчитана в том числе на откачку агрессивных газов в производстве микроэлектроники и полупроводников, а EV-S применяется в чистых производствах, PVD-процессах и системах с продолжительным временем работы.

Серия EV-PA ориентирована на получение чистого безмасляного вакуума в лабораторных, научных и промышленных системах. Компактное исполнение, воздушное охлаждение, низкий уровень шума и встроенные средства управления позволяют использовать такие насосы в аналитическом оборудовании, электронной микроскопии, масс-спектрометрии, течеискателях и других вакуумных установках.

Турбомолекулярные насосы

Турбомолекулярные насосы EBARA предназначены для создания высокого и сверхвысокого вакуума в технологических и исследовательских системах. Насосы используют магнитный или механический подвес ротора в зависимости от серии и исполнения, что позволяет подобрать оборудование с учетом требований к вибрациям, обслуживанию и условиям эксплуатации.

Серия EMT включает турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом. Для оборудования доступны исполнения с терморегулированием, коррозионностойким покрытием, низким уровнем вибраций и возможностью работы в области сверхвысокого вакуума. Насосы оснащаются функциями автоматической калибровки, дистанционного управления и мониторинга, а также могут иметь воздушное или водяное охлаждение.

Серия EBT представляет турбомолекулярные насосы с интегрированными молекулярными ступенями и механическими подшипниками. Оборудование предназначено для высоковакуумных производственных и исследовательских процессов и может использоваться в ядерной физике, ускорителях частиц, аналитических установках, электронно-лучевых и рентгеновских системах, а также при нанесении покрытий и напылении.