Винтовые насосы EBARA

Винтовые вакуумные насосы EBARA — это сухое вакуумное оборудование для технологических процессов с различной газовой нагрузкой и требованиями к условиям откачки. В линейке EBARA представлены серии ESA, ESR, EST, EV-M, EV-PA и EV-S. Купить винтовые вакуумные насосы EBARA можно с доставкой по всей России.

Навигация по статье

Винтовые вакуумные насосы EBARA

Винтовые вакуумные насосы работают по объемному принципу: два профилированных ротора синхронно вращаются внутри корпуса и образуют замкнутые полости. При вращении объем этих полостей изменяется, благодаря чему газ захватывается со стороны входа, перемещается вдоль рабочей камеры, сжимается и направляется к выходу.

В сухих винтовых насосах масло не используется непосредственно в рабочей камере, поэтому откачиваемый газ не контактирует со смазочным материалом. Такая конструкция подходит для технологических процессов, в которых предъявляются повышенные требования к чистоте вакуумной среды.

Рабочие характеристики винтового насоса зависят от конструкции насосного блока, количества ступеней, частоты вращения и дополнительного оборудования. Для увеличения скорости откачки основной насос может дополняться бустерной ступенью. Различные конструктивные исполнения позволяют адаптировать оборудование к высокой газовой нагрузке, легким и агрессивным газам, чистым технологическим процессам и другим условиям эксплуатации.

Оборудование EBARA

Серия ESA

Сухие вакуумные насосы EBARA серии ESA предназначены для эксплуатации в условиях высокой газовой нагрузки. Основной насос дополнен бустерным насосом, который позволяет повысить скорость откачки.

Серия специально разработана для процессов с повышенным содержанием водорода. Конструкция многоступенчатого насоса Рутс позволяет предотвращать обратное натекание водорода. Основные детали выполнены из никелевого сплава с высокой коррозионной стойкостью.

Насосы ESA обеспечивают высокую скорость откачки в широком диапазоне давлений и применяются в вакуумных печах, установках имитации космического пространства и вакуумного прессования, ускорителях заряженных частиц, системах нанесения покрытий и PVD/CVD-процессах.

Серия ESR

EBARA ESR — многоступенчатые сухие вакуумные насосы типа Рутс с бустерной ступенью, предназначенные для получения чистого вакуума. Серия обеспечивает высокую скорость откачки во всем диапазоне давлений вплоть до 1 мТорр.

Насосы рассчитаны на откачку сред средней степени загрязнения и процессы с высоким нагревом. Для чистых технологических процессов продувка азотом не требуется. Высокая химическая стойкость позволяет применять оборудование в системах, содержащих агрессивные газы.

Использование улучшенных двигателей постоянного тока и контроллеров позволяет снизить потребляемую мощность, расход охлаждающей воды и азота. Серия применяется в вакуумных печах, ускорителях заряженных частиц, установках нанесения покрытий и PVD/CVD-процессах.

Серия EST

EBARA EST — двухступенчатые винтовые вакуумные насосы с бустерной ступенью типа Рутс, разработанные для эксплуатации при высокой газовой нагрузке. Серия отличается широким диапазоном скорости откачки и может использоваться в различных промышленных процессах.

Основные детали насосов изготовлены из никелевого сплава NiResist, обеспечивающего высокую коррозионную стойкость. В конструкции также применяются высокоэффективные двигатели постоянного тока и надежные системы контроля работы.

Насосы EST предназначены для CVD-процессов и травления, откачки камер большого объема, агрессивных газов и систем с мелкодисперсными частицами. Серия также применяется в металлургической промышленности, вакуумных печах и установках нанесения покрытий.

Серия EV-M

Серия EBARA EV-M предназначена для откачки агрессивных сред, в том числе NF₃, HF, Cl₂, SiH₂Cl₂ и других газов. Насосы отличаются высокой скоростью откачки, включая работу с легкими газами.

В конструкции применяется высокомоментный двигатель постоянного тока с инвертором, позволяющий значительно снизить потребление электроэнергии по сравнению с предыдущими сериями. Оборудование также оснащается интеллектуальной системой управления и датчиком протечки воды.

Насосы EV-M применяются при травлении металлов, в CVD-технологиях, химической промышленности, газовых центрифугах, производстве микроэлектроники и полупроводников, а также в вакуумных печах.

Серия EV-PA

EBARA EV-PA — универсальные безмасляные винтовые насосы для процессов с высокими требованиями к чистоте вакуума. Отсутствие масла в процессе сжатия позволяет использовать серию в чистых лабораторных, научных и промышленных вакуумных системах.

В рабочей камере отсутствуют пары трения, благодаря чему насосы имеют большой межсервисный интервал и не требуют ежегодного технического обслуживания. Воздушное охлаждение, компактные размеры, небольшая масса и низкий уровень шума упрощают эксплуатацию оборудования.

Насосы оснащаются встроенным LCD-дисплеем, обратным клапаном на выходе и интерфейсом удаленного доступа. Серия применяется в научных исследованиях, электронной микроскопии, аналитических установках, масс-спектрометрах, течеискателях, анализаторах поверхностей, ускорителях частиц и небольших вакуумных камерах.

Серия EV-S

Вакуумные насосы EBARA серии EV-S представляют собой многоступенчатые насосы для чистых производств. Высокоэффективные электродвигатели с интеллектуальной системой контроля способствуют снижению расхода электроэнергии при эксплуатации.

Серия сочетает компактные размеры с высокой производительностью. В качестве опций предусмотрены продувка азотом и применение никелевых сплавов для повышения коррозионной стойкости оборудования.

Насосы EV-S используются для откачки загрузочных камер и вакуумных камер сканирующих электронных микроскопов, в PVD-процессах, чистых производствах и системах с длительным временем работы.

Как выбрать винтовой вакуумный насос EBARA

При подборе винтового вакуумного насоса необходимо исходить из параметров конкретного технологического процесса. Важны требуемая скорость откачки и рабочее давление, объем вакуумной камеры, газовая нагрузка, состав откачиваемой среды и продолжительность работы оборудования. Серии EBARA рассчитаны на разные условия эксплуатации, поэтому одинаковая по номинальной производительности модель не обязательно будет одинаково эффективна в разных вакуумных системах.

При выборе следует учитывать следующие параметры:

• Скорость откачки — должна соответствовать объему вакуумируемой камеры, величине газовой нагрузки и требуемому времени выхода системы на рабочее давление;
• Диапазон рабочих давлений — насос необходимо оценивать по характеристикам в той области давления, в которой непосредственно протекает технологический процесс;
• Требуемая глубина вакуума — предельное остаточное давление выбранной модели должно соответствовать требованиям вакуумной установки;
• Газовая нагрузка — для процессов с интенсивным поступлением газа необходимо выбирать оборудование, рассчитанное на соответствующий режим работы. Для повышения скорости откачки в отдельных сериях применяется дополнительная бустерная ступень;
• Состав откачиваемой среды — необходимо учитывать наличие легких, агрессивных и химически активных газов, а также загрязнений и мелкодисперсных частиц;
• Коррозионная стойкость — при работе с агрессивными средами важны материалы основных деталей и наличие специальных коррозионностойких исполнений, покрытий или никелевых сплавов;
• Требования к чистоте вакуума — для чистых производственных, лабораторных и аналитических процессов следует учитывать конструкцию насоса и возможность эксплуатации без загрязнения вакуумного объема маслом;
• Продувка азотом — необходимость продувки определяется составом откачиваемой среды и условиями технологического процесса. Для отдельных серий она предусмотрена как опция, а в некоторых чистых процессах может не требоваться;
• Охлаждение — при подборе необходимо учитывать требования конкретной модели к отводу тепла и наличие на объекте необходимых инженерных коммуникаций;
• Энергопотребление — для оборудования, работающего длительное время, существенное значение имеют эффективность электродвигателя и системы управления;
• Управление и контроль — в зависимости от задачи могут быть важны интеллектуальное управление, контроль рабочих параметров и возможность дистанционного управления насосом;
• Условия размещения — габариты, масса и требования к обслуживанию необходимо учитывать при установке оборудования в существующую вакуумную систему.

Окончательный выбор модели следует выполнять по рабочей характеристике насоса с учетом требуемого давления и фактической газовой нагрузки. Помимо номинальной скорости откачки необходимо учитывать свойства технологической среды, режим эксплуатации и требования конкретной вакуумной установки.