Производитель: Ebara
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Производитель: Ebara
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Производитель: Ebara
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Являемся эксклюзивным дилером продукции EBARA на территории России и стран СНГ. Это позволяет нам предлагать продукцию EBARA с лучшими условиями и гарантировать качество поставляемой продукции с предоставлением послепродажного сервисного обслуживания. Изготовление оборудования происходит в Японии, которая славится своей культурой производства.
Турбомолекулярные насосы EBARA серий EMT и EMT-K
Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT-K - а наиболее энергоэффективными насосами с низким уровнем вибраций. В конструкции применен магнитный подвес, который обеспечивает полностью безмасляный вакуум.
В серии EMT представлены насосы как со встроенным, так и с внешним контроллером. Все насосы этой серии могут быть укомплектованы терморегулятором для снижения скорости конденсации отходов технологического процесса и предотвращения пагубного воздействия примесей газа на части насоса.
Области применения
- Полупроводниковая и микроэлектронная промышленности.
- Производство FDli.
- Плазмохимическое травление.
- Производство оптических элементов.
- Вакуумные печи.
- Имитаторы космического пространства.
- Производство композитных материалов.
- Научно-исследовательские установки.
- Технологические процессы, где абсолютно недопустимо наличие масла.
Особенности и преимущества
- Полностью магнитный подвес.
- Любая ориентация при установке.
- Лучшие показатели по потоку откачиваемого газа.
- Высокая стойкость к вибрационным нагрузкам.
- Возможность установки на подвижные части вакуумной камеры .
- Низкое энергопотребление.
- Опционально коррозионностойкое исполнение.
- Водяное или воздушное охлаждение.
- Компактные размеры.
- Возможность контроля оборотов ротора.
- Система автоматической калибровки и стабилизации положения подшипниковых узлов.
Непревзойдённая надежность:
- Уникальная конструкция подшипникового узла, способная выдерживать резкие скачки давления при прорыве атмосферы.
- Гарантия на магнитный подшипник 7 лет.
Насосы с магнитным подвесом и внешним контроллером EMT
Насосы EMT имеют внешний контроллер ETC011M и выполняются как с водяным, так и с воздушным охлаждением.
Технические характеристики EBARA серии EMT
Таблица 1. Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT с магнитным подвесом и внешним контроллером - технические характеристики.
| Характеристики моделей | EMT390M | EMT420M | EMT900M | EMT1300M | EMT2400M | EMT3260M |
| Быстрота действия по азоту (водороду), л/с | 340 (290) | 400 (300) | 900 (1050) | 1300 (1200) | 2400 (1100) | 3200 (2700) |
| Предельное остаточное давление, Па | 10-6 | 10-6 | 10-6 | 10-6 | 10-6 | 10-6 |
| Максимальная степень сжатия по азоту | 108 | 108 | 108 | 108 | 108 | 108 |
| Максимальный газовый поток по азоту (аргону), Па*л/c | 3680(1290) | 3680(1290) | 5520(2760) | 5520(2760) | 5520(3680) | 5520(3680) |
| Скорость вращения ротора об/мин | 40800 | 48000 | 33600 | 33600 | 33600 | 33600 |
| Размер фланцев (вход/выход) | NW100/NW25 | NW160/NW25 | NW160/NW25 | NW200/NW40 | NW250/NW40 | NW320/NW40 |
| Допустимое выходное давление, Па | 400 | 400 | 500 | 500 | 200 | 400 |
| Длительность запуска, мин | 2-3 | 2-3 | 4-5 | 4-5 | 4-5 | 4-5 |
| Длительность остановки, мин | 4-5 | 4-5 | 4-5 | 4-5 | 4-5 | 4-5 |
| Масса, кг | 14 | 14 | 34 | 34 | 45 | 80 |
Насосы с магнитным подвесом и встроенным контроллером
Насосы EMT-K имеют встроенный контроллер и выполняются только с водяным охлаждением и фланцем стандарта ISO на всасывании. Защищены по стандарту IP54.
Технические характеристики EBARA серии EMT-K
Таблица 2. Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT-K с магнитным подвесом и встроенным контроллером - технические характеристики.
| Характеристики моделей | EMT2200MK | EMT3300MK | EMT4200MK |
| Быстрота действия по азоту (водороду), л/с | 2200 (1800) | 3200(2700) | 4200(2800) |
| Предельное остаточное давление, Па | 10-6 | 10-6 | 10-6 |
| Максимальная степень сжатия по азоту | 108 | 108 | 108 |
| Размер фланцев (вход/выход) | ISO-B250/NW40(NW50) | ISO-B320/NW40 | ISO-B350/NW40-50 |
| Допустимое выходное давление, Па | 400 | 400 | 160 |
| Максимальный газовый поток по азоту Па*л/c | 4400 | 4000 | 2500 |
| Длительность запуска, мин | 7-10 | 10-12 | 12-14 |
| Масса, кг | 63 | 69 | 75 |
Внимание. Насосы EMT-K поставляются только с фланцем ISO-B и водяным охлаждением. Могут быть выполнены в стандартном - литера B, коррозионно-стойком исполнении - литера C.
О компании EBARA
Компания EBARA Technologies Inc. является признанным мировым лидером по производству вакуумного оборудования для различных областей науки и техники. В линейке компании представлены турбомолекулярные насосы, сухие форвакуумные насосы, скрубберы для утилизации вредных газов в производстве, оборудование для микроэлектроники и оптической промышленности.
Скачать каталог