- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Турбомолекулярные насосы
- Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT900MU-CAB
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT900MU-CAB
product-card
Насосы серии EMT являются абсолютно безмасляными. Эти насосы рассчитаны на работу в тяжелых условиях, например, при производстве полупроводников и изделий микроэлектроники, так и для целей получения сверхвысокого вакуума. Насосы данной серии оборудованы подшипником с пяти-координатным магнитным подвесом, что делает их срок службы практически неограниченным.
Помимо уже перечисленных преимуществ, насос обладает хорошей массо-габаритной характеристикой, имеет возможность свободной установки в любом положении в пространстве, а также низкую стоимость владения, сводя затраты на его обслуживание в процессе эксплуатации к минимуму.
Особенности и преимущества
- полностью магнитный подвес — срок службы подшипникового узла практически неограничен;
- установка в любом положении в пространстве;
- высокий откачиваемый поток;
- компактность;
- система контроля вращения ротора;
- низкий уровень вибрации;
- водяное или воздушное охлаждение;
- защитный экран в комплекте поставки;
- продувка газом для уменьшения вероятности загрязнения насоса;
- система электронного торможения ротора;
- коммуникационная связь через последовательные порты RS-232, RS-485 и др.;
- передовые системы защиты от случайного прорыва атмосферы и прекращения подачи электропитания.
Применение
- установки удаления верхнего слоя с поверхности детали (травление);
- плазмохимическое и физическое осаждение из паровой фазы;
- масс-спектрометрия шлюзовые камеры и транспортировочные камеры;
- установки нанесения тонких пленок;
- установки для ионного распыления;
- sem/tem электронная микроскопия;
- микроэлектромеханические системы;
- литография;
- xps и нанотехнологии.
Опционально: система температурного контроля, работа со сверхнизким уровнем вибрации, радиационно-стойкое исполнение, создание сверхвысокого вакуума, коррозионностойкое исполнение.
- Тип
- Турбомолекулярные
- Уровень вакуума
- Сверхвысокий
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 15.012
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 1 × 10⁻¹⁰
- Входной патрубок
- CF160
- Выходной патрубок
- CF160
- Количество ступеней
- Многоступенчатый
- Охлаждение
- Воздушное
- Масса, кг
- 45
- Производитель
- Ebara
- Серия
- EMT
- Страна
- Япония
- Длина, мм
- 264
- Высота, мм
- 407
- Ширина, мм
- 401
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 264×401×407
- Время выхода на режим, мин
- 5
Товары из этой же серии
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
Не забудьте купить
- Хладагент: R-404A/R508B (По запросу – смесь R125/R23/14)
- Масса, кг: 345
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: TSM
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 650*850*1850
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: VD
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Мощность электродвигателя, кВт: 0.75
- Масса, кг: 98
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ZBM
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Диаметр выходного вала, мм: 6
- Максимальный крутящий момент, Н·м: 0,90 (9,2 кг·см)
- Тип вакуума: Сверхвысокий вакуум
В корзину
1
- Тип: Гелиевые
- Мощность, кВт: 3.5
- Потребляемая мощность, кВт: 3.5
- Охлаждение: Водяное
- Масса, кг: 113
- Производитель: ERSTVAK
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: BF
- Страна: Китай
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 1128
- Тип смазки: Безмасляный (с водяным впрыском)
- Мощность электродвигателя, кВт: 110
- Уровень шума, дБ(А): 76
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: VP-QZ
- Страна: Китай
В корзину
1
- Тип: Когтевые
- Производительность, м³/ч: 400.2
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Частота вращения, об/мин: 2850
- Мощность электродвигателя, кВт: 22
- Уровень шума, дБ(А): 81
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: DN-SRNS
- Страна: Китай
В корзину
1
Вы смотрели
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 15.012
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻¹⁰
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Мощность, кВт: 300
- Масса, кг: 900
- Производитель: Kewell
- Серия: D2000-IV
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 850 × 1000 × 1500
В корзину
1
- Тип: Водокольцевые
- Уровень вакуума: Низкий
- Скорость откачки, м³/ч: 13700
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 160
- Мощность, кВт: 315
- Частота вращения, об/мин: 420
В корзину
1
- Тип: Пластинчато-роторные
- Производительность, м³/ч: 160.2
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): -600
- Частота вращения, об/мин: 1440
- Мощность электродвигателя, кВт: 5.5
В корзину
1
- Серия: EMVF
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 4500 × 4200 × 3400
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 14.4
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 6 × 10⁻⁸
- Мощность, кВт: 0.5
В корзину
1
- Мощность, кВт: 600
- Масса, кг: 1800
- Производитель: Kewell
- Серия: D2000-IV
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1650 × 1000 × 2000
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.8
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻⁶
- Мощность, кВт: 0.07
В корзину
1
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 9000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Охлаждение: Водяное
В корзину
1
