Датчики INFICON АСО (атомно-слоевое осаждение) обеспечивают повторяемость, точность и долговечность измерений осаждения атомных слоев на кристаллах кварца (quartz crystal microbalance - QCM). Датчик ФСЩ может выдерживать температуры до 450 °C. Он предназначен для работы в суровых условиях АСО. Обнаженный электрод кристалла полностью заземлен, чтобы эффективно устранять любые потенциальные проблемы с электрическими наводками.
Разработан специально для АСО.
Уникальной особенностью датчика INFICON АСО является наличие трубки, используемой для продувки задней части кристалла и полости датчика инертным газом, обычно азотом. Это предотвращает попадание реактивных газов камеры в сенсорную головку и предохраняет заднюю часть кристалла и электрические контакты от осаждаемого материала. Этот метод позволяет проводить измерения в системах, где стандартный датчик QCM не подходит.
Вакуумный ввод
Датчики INFICON АСО доступны с индивидуальной сварной длиной или с компрессионными фитингами для регулировки длины без пайки или сварки. Во всех конфигурациях используется вакуумный фланец размером 2¾ дюйма (CF40) ConFlat.
Высокотемпературные кристаллы для более точных измерений
Датчик INFICON АСО может обеспечить наилучшую точность измерения, а так же низкочастотные колебания в высокотемпературных применениях при использовании новых высокотемпературных кристаллов кварца INFICON. Эти высокотемпературные кристаллы оптимизированы для применений при 120, 240 и 285 ° C, поэтому у вас всегда есть подходящий кристалл для вашего процесса. Для подбора кристаллов с оптимизацией под другую температуру необходимо связаться с представителем INFICON.
Особенности:
- Рабочая температура до 450 °C;
- Продувка газом защищает кристаллы от осаждения;
- Приварной фланец Conflat (CF40);
- Компрессионный фитинг с уплотнительным кольцом;
- Поддерживаются высокотемпературные кристаллы.
Преимущества:
- Совместимость с большинством температур процессов АСО;
- Значительно снижена потребность в обслуживании;
- Увеличено время безотказной работы системы;
- Повышена точность измерения;
- Стабильные показания с низким уровнем помех при высоких температурах процесса.
Область применения:
- Атомно-слоевое осаждение (АСО)
Характеристики
|
Материалы |
Сварной датчик ALD (PN 750-713-G4-XX) |
Регулируемый датчик ALD (PN 750-717-G2 и G4) |
|---|---|---|
|
Корпус и держатель |
Нержавеющая сталь типа 304 |
Нержавеющая сталь типа 304 |
|
Источники |
Молибден и инконель X-750 |
Молибден и инконель X-750 |
|
Газовые и коаксиальные трубки |
Бесшовная нержавеющая сталь 304 |
Бесшовная нержавеющая сталь 304 |
|
Другие механические части |
Нержавеющая сталь 18-8 или 304 |
Нержавеющая сталь 18-8 или 304 |
|
Изоляторы |
>99% Al2O3 в вакууме; другая керамика высокой плотности, используемая в других местах |
>99% Al2O3 в вакууме; другая керамика высокой плотности, используемая в других местах |
|
Проволока |
1) Никель (в вакууме ) 2) Никель с медным покрытием (на атмосфере) |
1) Никель (в вакууме ) 2) Никель с медным покрытием (на атмосфере) |
|
Спаивать |
Вакуумный процесс высокотемпературного сплава нихром |
Вакуумный процесс высокотемпературного сплава нихром |
|
Компрессионные фитинги уплотнительного кольца |
Н/Д |
Нержавеющая сталь 304 , Витон |
|
Максимальная температура |
450°C |
130°C |
|
Сквозная передача |
2 3/4 дюйма ConFlat |
2 3/4 дюйма ConFlat оснащен компрессионными фитингами уплотнительного кольца |
|
Подключение датчика/сквозной передачи |
Сварные (без наполнителей) |
Компрессионные фитинги уплотнительного кольца |
|
Газовые и коаксиальные трубки |
Газ: 3,2 мм (0,125 дюйма) (вакуумная сторона) 6,4 мм (0,25 дюйма) Наружный диаметр (со стороны атмосферы): 4,8 мм (0,375 дюйма) |
Газ: 3,2 мм (0,125 дюйма) Коаксиальный кабель: 4,8 мм (0,375 дюйма) |
|
Размер головки датчика (максимальная оболочка) |
34 x 35 x 24 мм (1,35 x 1,38 x 0,94 дюйма) |
34 x 35 x 24 мм (1,35 x 1,38 x 0,94 дюйма) |
|
Кристаллообмен |
Фронтальная загрузка, автономная ручка блокировки кулачкового типа |
Фронтальная загрузка, автономная ручка блокировки кулачкового типа |
|
Установка |
Четыре отверстия #4-40 на задней панели корпуса датчика |
Четыре отверстия #4-40 на задней панели корпуса датчика |
|
Коммуникации |
Заказчику необходимо предоставить средства крепления газовой трубки для подачи продувочного газа |
Заказчику необходимо предоставить средства крепления газовой трубки для подачи продувочного газа |
|
Кристалл (не входит в комплект поставки датчика) |
14 мм (0,55 дюйма) |
14 мм (0,55 дюйма) |
Артикул
Аксессуары
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
750-1058-G10 |
120 °C оптимизированные кристаллы, 6 МГц, 14 мм (0.55 дюйм.), золото, упаковка 10 шт. |
|
750-1059-G10 |
240 °C оптимизированные кристаллы, 6 МГц, 14 мм (0.55 дюйм.), золото, упаковка 10 шт. |
|
750-1060-G10 |
285 °C оптимизированные кристаллы, 6 МГц, 14 мм (0.55 дюйм.), золото, упаковка 10 шт. |
Запасные части
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
007-007 |
Пружина стопорная (для держателя кристаллов) |
|
007-064 |
Керамический фиксатор |
|
007-094 |
Зажимная пружина |
|
007-095 |
Рукоятка |
|
007-098 |
Разъем - мама (включая наконечники и гайку) |
|
007-099 |
Прогреваемая контактная головка |
|
007-100 |
Изолятор для BNC |
|
007-103 |
Изолятор для прогреваемой контактной головки |
|
007-104 |
BNC корпус |
|
007-147 |
#4-40 X 3/8 крепеж |
|
007-228 |
#4-40 X 5/8 крепеж |
|
007-267-P2 |
Распорка |
|
007-268-P1 |
Изолирующая втулка |
|
007-269-P1 |
Изолирующая втулка |
|
070-201 |
#4 Sшайба Гровера |
|
084-069-P1 |
#4-40 x 3/16 крепеж |
|
750-018-P3 |
Разъёмный хомут |
|
750-018-P5 |
Разъёмный хомут |
|
750-218-G1 |
Держатель кристалла |