INFICON предлагает множество вакуумных вводов для датчиков Quartz Crystal Monitor (QCM), которые подходят для многих видов датчиков и камер. Отверстия под болты CF40 (2,75 дюйма, ConFlat) и 2,54 см (1 дюйм) доступны с различными комбинациями электрических соединений, водяного охлаждения и воздушных трубок. Вакуумный ввод INFICON также может быть оснащен компрессионными фитингами с уплотнительным кольцом Ultra-Torr для упрощения установки и регулировки длины датчика. Другие виды вакуумных вводов могут быть доступны по запросу (KF40 и т. д.).
Если не указано иное, стандартное сквозное электрическое соединение состоит из коаксиального разъема BNC со стороны атмосферы и разъема Microdot со стороны вакуума. Этот тип электрического подключения предназначен для использования со следующими датчиками INFICON: Датчик с загрузкой спереди, Двойной датчик с загрузкой спереди, Датчик распыления, CrystalSix, и Crystal 12.
Примечание: водяные и воздушные трубки имеют внешний диаметр 4,8 мм (3/16 дюйма).
В следующей таблице приведены краткие справочные сведения о требованиях к вакуумным вводам и номерам деталей в зависимости от типа датчика.
|
Тип датчика |
Требования к сквозному соединению |
Артикул |
|||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
Количество коаксиальных портов |
Количество трубок |
CF40 |
CF 40 с Ultra-torr |
2,54 см (1 дюйм) болт |
2,54 см (1 дюйм) болт с Ultra-torr |
||
|
Одинарный датчик |
1 |
2 |
002-043 |
206-878-G2 |
002-042 |
750-624-G1 |
|
|
Одинарный датчик с затвором |
1 |
3 |
750-685-G1 |
750-685-G2 |
750-030-G1 |
Изготавливается под заказ |
|
|
Двойной датчик |
2 |
3 |
002-080 |
206-878-G2 |
750-707-G1 |
Изготавливается под заказ |
|
|
CrystalSix или Crystal 12 |
1 |
3 |
750-685-G1 |
206-878-G2 |
750-030-G1 |
Изготавливается под заказ |
|
|
CrystalSix или Crystal 12 с затвором |
1 |
4 |
750-683-G1 |
Н/Д |
Изготавливается под заказ |
Н/Д |
|
Особенности
- Доступны варианты с болтом 2,54 см (1 дюйм) или CF40 (2,75 дюйма ConFlat)
- Доступные компрессионные фитинги с уплотнительным кольцом Ultra-Torr
- Доступны индивидуальные конфигурации вакуумного ввода
- Другие варианты вакуумных вводов доступны по запросу
- Держатель кристалла с фронтальной загрузкой
- Простая установка
- Доступен проходным отверстием под болт 2,54 см (1 дюйм)/проходным отверстием CF40
- Регулируемая длина при заказе с компрессионными фитингами
- Доступны комбинации датчика/прохода, приваренные к длине, указанной заказчиком
- При заказе с компрессионными фитингами и приваркой к проходному патрубку пайка не требуется
Запасные части
|
Вакуумный ввод для датчиков QCM |
|
|---|---|
|
Каталожный номер |
Описание |
|
002-064 |
Четырехкольцевая прокладка, VITON®, CF40 |
|
012-328 |
Прокладка, медь, CF40 |
|
070-0237 |
Уплотнительное кольцо, VITON®, болт 2.54 см (1 дюйм.) |
|
211-003 |
Хомут DN 32-40 ISO-KF |
|
211-070 |
Центрирующее кольцо DN 40 ISO-KF,SS/FPM |