Применение: Проведение исследовательских работ, плазменная очистка и активация поверхности, прецизионное травление тонких слоев (мелкосерийные процессы), травление 2D материалов.
Области применения:
- Микроэлектроника
-
Нанотехнологии
-
Мелкосерийное производство
-
Медицина
-
Исследования
-
Обработка текстиля
-
Полупроводники
-
Обработка пластиков.