Top.Mail.Ru
Вертикальная камера реактивно-ионного травления ERSTEVAK VITA 8 купить по цене производителя
+7 (499) 703-06-36
Оборудование
Промышленное
Вакуумное
Испытательное
Термическое
Лабораторное
Оборудование

Вертикальная камера реактивно-ионного травления ERSTEVAK VITA 8

Каталог оборудования ERSTEVAK
В наличии
Запросить КП

Характеристики

  • Тип обработки
    Вакуумный
  • Тип управления
    Ручное и автоматическое
  • Химия
    фторная
  • Генератор
    13,56 МГц (макс. 300 Вт)
  • Тип установки
    Вертикальная камера вакуумной плазмы (Реактивное ионное травление)
  • Газовые линии
    Макс. 4 линии (200 см3)
  • Материал камеры
    алюминий
  • Радиус электрода
    9,2 дюйма
  • Измерение вакуума
    Датчик Баратрон / Атм. ~ 5 х 10-4 торр
  • Геометрия, автономный размер
    680x1030x1200

Информация о серии

Применение: для использования в НИОКР для реализации процессов сухого плазменного травления. В базовой конфигурации (без вакуумного загрузочного шлюза - фторная химия) системы успешно применяются для широкого спектра процессов, таких как травление диэлектриков (SiO2,Si3N4), полупроводников (Si), полимеров и металлов (Au, Pt, Ti, Ni).

Области применения:
  • Микроэлектроника
  • Нанотехнологии
  • Мелкосерийное производство
  • Медицина
  • Исследования
  • Обработка текстиля
  • Полупроводники
  • Обработка пластиков

Другие товары из серии VITA

Вертикальная камера реактивно-ионного травления ERSTEVAK VITA 8
Тип: Вертикальная

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 13,56 МГц (макс. 300 Вт)
Газовые линии: Макс. 4 линии (200 см3)
Вертикальная камера реактивно-ионного травления ERSTEVAK VITA 12
Тип: Вертикальная

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 13,56 МГц (макс. 600 Вт)
Газовые линии: Макс. 4 линии (200 см3)

Условия оплаты и доставки

Оплата

Юридические лица

  • Безналичный расчет

Физические лица

  • Безналичный расчет
  • Наличный расчет в офисе продаж

Доставка

  • Самовывоз со склада ЭРСТВАК
  • Доставка транспортной компанией
Подробнее об условиях

Смотрите также

Вертикальная камера реактивно-ионного травления ERSTEVAK VITA 8
Тип: Вертикальная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 13,56 МГц (макс. 300 Вт)
Газовые линии: Макс. 4 линии (200 см3)
Вертикальная камера реактивно-ионного травления ERSTEVAK VITA 12
Тип: Вертикальная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 13,56 МГц (макс. 600 Вт)
Газовые линии: Макс. 4 линии (200 см3)
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I7
Тип: Промышленная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Внешние габариты (Д×Ш×В), мм: 930 × 990 × 1754
Предельный вакуум, Па: 1
Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч: 60
Лабораторная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-L7
Тип: Лабораторная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Внешние габариты (Д×Ш×В), мм: 755 × 793 × 1500
Предельный вакуум, Па: 1
Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч: 16
Лабораторная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-L8
Тип: Лабораторная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Внешние габариты (Д×Ш×В), мм: 600 × 530 × 550
Предельный вакуум, Па: 1
Вакуумметр: SMC
Скорость откачки, м³/ч: 8
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I9
Тип: Промышленная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Внешние габариты (Д×Ш×В), мм: 1300 × 1190 × 1790
Предельный вакуум, Па: 1
Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч: Насос Рутса + 60
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I3
Тип: Промышленная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Внешние габариты (Д×Ш×В), мм: 630 × 730 × 1430
Предельный вакуум, Па: 1
Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч: 16
Настольная плазменная система очистки поверхности ERSTEVAK COVANCE
Тип: Настольная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 20~100 кГц (макс. 200 Вт)/ 13,56 МГц (макс. 300 Вт)
Газовые линии: Макс. 4 линии (200 см3)
Вакуумная плазменная система для обработки поверхности ERSTEVAK COWIN 40
Тип: Вакуумная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 20~100 кГц (макс. 300 Вт)/ 13,56 МГц (макс. 300 Вт)
Газовые линии: Макс. 4 линии (500 см3)
Система плазменного и реактивно-ионного травления ERSTEVAK CIONE 6
Тип: Система
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 20~100 кГц (макс. 200 Вт)/ 13,56 МГц (макс. 300 Вт)
Газовые линии: Макс. 4 линии (200 см3)
Атмосферно-плазменная система ERSTEVAK WIDE-FLUX 400
Тип: Атмосферно-плазменная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 13,56 МГц (макс. 600 Вт)
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I6
Тип: Промышленная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Внешние габариты (Д×Ш×В), мм: 903 × 983 × 1753
Предельный вакуум, Па: 2
Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч: 60
Система плазменной очистки на атмосфере ERSTEVAK EV-ATMO-D
Тип: Система
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Тип управления: Цифровое управление, настройка давления воздуха, регулируемая мощность
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм: 414.5 × 539 × 152.5
Скорость обработки поверхности, мм/с: 10 — 300
Эффективный диапазон очистки, мм: 2 — 10
Выходная мощность, Вт: 300 — 1000
Лабораторная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-L6
Тип: Лабораторная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Внешние габариты (Д×Ш×В), мм: 755 × 825 × 1550
Предельный вакуум, Па: 1
Вакуумметр: SMC
Скорость откачки, м³/ч: 16
Система плазменного и реактивно-ионного травления ERSTEVAK CIONE 4
Тип: Система
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 20~100 кГц (макс. 100 Вт)
Газовые линии: Макс. 3 линии (100 см3/мин)
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I1
Тип: Промышленная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Внешние габариты (Д×Ш×В), мм: 650 × 575 × 635
Предельный вакуум, Па: 1
Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч: 16
Система плазменной обработки подложек ERSTEVAK EV-PLASMA-W2
Тип: Система
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Внешние габариты (Д×Ш×В), мм: 553 × 553 × 732
Предельный вакуум, Па: 1
Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч: 16
Лабораторная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-L4
Тип: Лабораторная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Внешние габариты (Д×Ш×В), мм: 510 × 480 × 540
Предельный вакуум, Па: 1
Вакуумметр: SMC (По запросу — Пирани)
Скорость откачки, м³/ч: 8
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I8
Тип: Промышленная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Внешние габариты (Д×Ш×В), мм: 930 × 990 × 1754
Предельный вакуум, Па: 2
Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч: 60

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!
Введите символы с картинки*
WhatsApp