По типу
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH1000
Тип: Бессеточный
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Катод:
НН-нить накала или ПК-полый катод
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Высота ионного источника: 4.0"
Угол расходимости пучка ИИ: > 45°
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH400LE
Тип: Бессеточный
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Катод:
НН-нить накала или ПК-полый катод
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Высота ионного источника: 3.0"
Угол расходимости пучка ИИ: > 45°