Бессеточные источники Kaufman & Robinson

О бессеточных источниках Kaufman & Robinson

Ионные источники End-Hall производства компании Kaufman & Robinson предназначены для формирования ионных пучков с высокой плотностью и низкой энергией. Благодаря высокой плотности ионных потоков, они способны обеспечить эффективное ионное ассистирование даже при высокоскоростных процессах вакуумного напыления, тогда как низкая энергия ионов предотвращает повреждения подложек и напыляемых слоев.

Технология End-Hall (eH) в линейке безрешеточных плазменных источников ионов позволяет точно генерировать и регулировать параметры различных типов ионов, включая их энергию, химическую активность, плотность тока и траекторию.

Ионные источники из серии eH предназначены для работы с широким спектром газов, таких как аргон (Ar), кислород (O₂), азот (N₂), водород (H₂) и различные органические прекурсы.

Особенности

• Компактные низкопрофильные модели серии eH доступны в различных размерах, чтобы удовлетворить требования как исследовательских проектов, так и требования высокопроизводительного производства.
• Запатентованная модульная конструкция анода делает обслуживание, сборку и разборку моделей более простыми, при этом обеспечивая их высокую производительность.
• Каждая модель может быть дооснащена дополнительными компонентами для удовлетворения специфических требований обработки и условий установки.
• Все модели ионных источников легко интегрируются как в существующие вакуумные системы, так и в новые системы ОЕМ.