Top.Mail.Ru
Бессеточные источники Kaufman & Robinson - купить по цене производителя
Оборудование

Бессеточные источники Kaufman & Robinson

Получить
Бессеточные источники Kaufman & Robinson
Фильтры
По типу

Бессеточные источники Kaufman & Robinson

Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH3000MO
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH3000MO
Тип: Бессеточный
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Катод: ПК-полый катод
Высота ионного источника: 6.0"
Диаметр ионного источника: 9.7"
Угол расходимости пучка ИИ: > 45°
Заказать
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH3000LO
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH3000LO
Тип: Бессеточный
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Катод: ПК-полый катод
Высота ионного источника: 6.0"
Диаметр ионного источника: 9.7"
Угол расходимости пучка ИИ: > 45°
Заказать
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH3000
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH3000
Тип: Бессеточный
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Катод: ПК-полый катод
Высота ионного источника: 6.0"
Диаметр ионного источника: 9.7"
Угол расходимости пучка ИИ: > 45°
Заказать
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH2000LO
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH2000LO
Тип: Бессеточный
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Катод: ПК-полый катод
Высота ионного источника: 4.0"
Диаметр ионного источника: 5.7"
Угол расходимости пучка ИИ: > 45°
Заказать
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH1000LE
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH1000LE
Тип: Бессеточный
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Катод: НН-нить накала или ПК-полый катод
Высота ионного источника: 4.0"
Диаметр ионного источника: 5.7"
Угол расходимости пучка ИИ: > 45°
Заказать
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH1000
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH1000
Тип: Бессеточный
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Катод: НН-нить накала или ПК-полый катод
Высота ионного источника: 4.0"
Диаметр ионного источника: 5.7"
Угол расходимости пучка ИИ: > 45°
Заказать
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH400LE
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH400LE
Тип: Бессеточный
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Катод: НН-нить накала или ПК-полый катод
Высота ионного источника: 3.0"
Диаметр ионного источника: 3.7"
Угол расходимости пучка ИИ: > 45°
Заказать
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH400
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH400
Тип: Бессеточный
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Катод: НН-нить накала или ПК-полый катод
Высота ионного источника: 3.0"
Диаметр ионного источника: 3.7"
Угол расходимости пучка ИИ: > 45°
Заказать
Показать еще
1 2

Описание

Ионные источники End-Hall производства компании Kaufman & Robinson предназначены для формирования ионных пучков с высокой плотностью и низкой энергией. Благодаря высокой плотности ионных потоков, они способны обеспечить эффективное ионное ассистирование даже при высокоскоростных процессах вакуумного напыления, тогда как низкая энергия ионов предотвращает повреждения подложек и напыляемых слоев.

Технология End-Hall (eH) в линейке безрешеточных плазменных источников ионов позволяет точно генерировать и регулировать параметры различных типов ионов, включая их энергию, химическую активность, плотность тока и траекторию.

Ионные источники из серии eH предназначены для работы с широким спектром газов, таких как аргон (Ar), кислород (O2), азот (N2), водород (H2) и различные органические прекурсы.

Особенности

  • Компактные низкопрофильные модели серии eH доступны в различных размерах, чтобы удовлетворить требования как исследовательских проектов, так и требования высокопроизводительного производства
  • Запатентованная модульная конструкция анода делает обслуживание, сборку и разборку моделей более простыми, при этом обеспечивая их высокую производительность
  • Каждая модель может быть дооснащена дополнительными компонентами для удовлетворения специфических требований обработки и условий установки
  • Все модели ионных источников легко интегрируются как в существующие вакуумные системы, так и в новые системы ОЕМ

Модель/
Характеристики

eH200

eH400
eH400LE

eH1000
eH1000LE
eH1000LO

eH1000xO2

eH2000
eH2000LE
eH2000LO

eH3000
eH3000LO
eH3000MO

Тип катода (нейтрализатора)
НН – нить накала
ПК – полый катод

НН или ПК

НН или ПК

НН или ПК

НН или ПК

НН или ПК

ПК
ПК

ПК

Диаметр разрядной камеры

~ 2 см

~ 4 см





Высота ионного источника

2.0"

3.0"

4.0"

4.0"

4.0"

6.0"

Диаметр ионного источника

2.5"

3.7"

5.7"

5.7"

5.7"

9.7"

Угол расходимости пучка ионного источника

> 45°

> 45°

> 45°

> 45°

> 45°

> 45°

Напряжение в разрядной камере ионного источника

30 – 300 В

50 – 300 В
30 – 150 В

50 – 300 В
30 – 150 В
50 – 300 В

100 – 300 В

50 – 300 В
30 – 150 В
50 – 250 В

50 – 250 В

50 – 300 В
50 – 250 В

Ток в разрядной камере ионного источника

5 А
10 А

10 A
12 A
5 A

10 А

10 A
15 A
15 A

20 A
10 A
15 A

Типичные значения потока, ст. см3/мин

1 – 15

2 – 25

2 – 50

2 – 50

2 – 75

5 – 100

Водяное охлаждение

нет

опционально

опционально

опционально

да

опционально

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!
Введите символы с картинки*
WhatsApp