Успешно прошли финальные испытания установки, в ходе которых провели испытания на герметичность и уровень вакуума. Изначально требованием заказчика было достижение предельного вакуума 5 х 10-4 мбар, однако, в ходе тестирования нашими специалистами был достигнут предельный вакуум 5 х 10-5 мбар, что на порядок лучше.
Техническое описание камеры дегазации
- Объём камеры: 2600 л.
- Внутренние размеры: 1500 мм, длина 1500 мм.
- Вес: 1500 кг.
- В камере достигается температура 150 °С.
- Высоковакуумная система на базе турбомолекулярного насоса.
- Камера оснащена безмасляной форвакуумной системой откачки на базе спирального насоса.
- Система автоматики на базе платформы Siemens PLC.
- Система измерения вакуума представлена датчиком THYRACONT с диапазоном измерений до 5х10-9 мбар.
- В комплект поставки входит масс-спектрометр Extorr, модель RGA100 для анализа состава среды при процессе дегазации.
Более подробную информацию о проекте, а также этапах разработки и производства камеры дегазации запрашивайте у инженеров компании.
