Бессеточные источники Kaufman & Robinson

Полный каталог оборудования Бессеточные источники Kaufman & Robinson. Официальный дистрибьютор в России.

Получить консультацию по Бессеточные источники Kaufman & Robinson

Оставьте контактный номер и с вами свяжется наш инженер Нажимая кнопку, я соглашаюсь с условиями Политики обработки данных

О Бессеточные источники Kaufman & Robinson

Описание

Ионные источники End-Hall производства компании Kaufman & Robinson предназначены для формирования ионных пучков с высокой плотностью и низкой энергией. Благодаря высокой плотности ионных потоков, они способны обеспечить эффективное ионное ассистирование даже при высокоскоростных процессах вакуумного напыления, тогда как низкая энергия ионов предотвращает повреждения подложек и напыляемых слоев.

Технология End-Hall (eH) в линейке безрешеточных плазменных источников ионов позволяет точно генерировать и регулировать параметры различных типов ионов, включая их энергию, химическую активность, плотность тока и траекторию.

Ионные источники из серии eH предназначены для работы с широким спектром газов, таких как аргон (Ar), кислород (O₂), азот (N₂), водород (H₂) и различные органические прекурсы.

Особенности

Компактные низкопрофильные модели серии eH доступны в различных размерах, чтобы удовлетворить требования как исследовательских проектов, так и требования высокопроизводительного производства
Запатентованная модульная конструкция анода делает обслуживание, сборку и разборку моделей более простыми, при этом обеспечивая их высокую производительность
Каждая модель может быть дооснащена дополнительными компонентами для удовлетворения специфических требований обработки и условий установки
Все модели ионных источников легко интегрируются как в существующие вакуумные системы, так и в новые системы ОЕМ

Модель/ Характеристики	eH200	eH400 eH400LE	eH1000 eH1000LE eH1000LO	eH1000xO₂	eH2000 eH2000LE eH2000LO	eH3000 eH3000LO eH3000MO
Тип катода (нейтрализатора) НН – нить накала ПК – полый катод	НН или ПК	НН или ПК	НН или ПК	НН или ПК	НН или ПК ПК ПК	ПК
Диаметр разрядной камеры	~ 2 см	~ 4 см
Высота ионного источника	2.0"	3.0"	4.0"	4.0"	4.0"	6.0"
Диаметр ионного источника	2.5"	3.7"	5.7"	5.7"	5.7"	9.7"
Угол расходимости пучка ионного источника	> 45°	> 45°	> 45°	> 45°	> 45°	> 45°
Напряжение в разрядной камере ионного источника	30 – 300 В	50 – 300 В 30 – 150 В	50 – 300 В 30 – 150 В 50 – 300 В	100 – 300 В	50 – 300 В 30 – 150 В 50 – 250 В	50 – 250 В 50 – 300 В 50 – 250 В
Ток в разрядной камере ионного источника	2А	5 А 10 А	10 A 12 A 5 A	10 А	10 A 15 A 15 A	20 A 10 A 15 A
Типичные значения потока, ст. см³/мин	1 – 15	2 – 25	2 – 50	2 – 50	2 – 75	5 – 100
Водяное охлаждение	нет	опционально	опционально	опционально	да	опционально

Получить консультацию

Наши специалисты помогут подобрать оптимальное решение

Прикрепить ТЗ

Нажимая кнопку, я соглашаюсь с условиями Политики конфиденциальности

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!

Прикрепить ТЗ

Нажимая кнопку, я соглашаюсь с условиями Политики в отношении обработки персональных данных