Насосы CRYO H&I серии GENCRYO

Насосы Cryo (GVT) серии HPM/HPS/HPG

Скорость откачки: от 1 700 до 14 000 л/с

Предельное остаточное давление: до 1х10^-9 мбар

Насосы серии HPM — сертифицированные (CE и SEMI) высокопроизводительные крионасосы, предназначенные для использования в полупроводниковой промышленности, производстве светодиодов, медицинской диагностике, анализе состояния поверхностей носителей, а также для различных исследований в высоком вакууме. Насосы спроектированы так, чтобы занять минимум рабочего пространства, что делает установки легкими в обслуживании.

Данный тип насосов имеет лучшее отношение скорости откачки к затратам на технологическое обслуживание. Криогенные насосы предлагаются в двух различных исполнениях — стандартном и с быстрой регенерацией («Q»). При быстрой регенерации нагревается только одна из ступеней откачки насоса, тем самым увеличивая сорбционную емкость насоса на такие газы, как водород, гелий и аргон. Полную регенерацию насоса при этом нужно проводить после каждых 10 – 15 циклов быстрой регенерации.

Особенности и преимущества

• Полностью безмасляный процесс откачки для высокопроизводительных систем
• Высокая скорость откачки по парам воды
• Достижение максимальных скоростей для входного высоковакуумного фланца определенных размеров
• Высокая надежность и срок службы
• Специальная компактная версия насоса «L»

Применение

• Обработка поверхностей
• Установки имитации космического пространства
• Установки для осаждения распылением
• Ионные источники и электронно-лучевые испарители
• Производство полупроводников и микроэлектроники
• Исследования в области ядерной физики и ускорителей заряженных частиц