Датчики INFICON SemiQCM для мониторинга прекурсоров TDMAT
ПРЕВОСХОДНАЯ ПОВТОРЯЕМОСТЬ
Датчик SemiQCM ™ является одним из компонентов системы мониторинга прекурсоров TDMAT, другими компонентами являются: монитор осаждения IMM-200 и ПО FabGuard (версия 19.12.00-a или выше).
Данное устройство можно использовать в полупроводниковой промыщленности для определение конца процесса и устранения неисправностей путем мониторинга количества прекурсора в форвакуумной линии или самой камере. Использование QCM обеспечивает доступный контроль и повышение эффективности процесса в производстве полупроводников.
Особенности
- Данные QCM отслеживаются при 10 Гц
- FabGuard коррелирует данные QCM, состояния приборов и этапы процесса
- Точное измерение скорости осаждения или травления
- Точное измерение толщины субмонослоя
- Высокая чувствительность
Преимущества
- Контроль процесса в реальном времени
- Предотвращение чрезмерного травления
- Определение неисправности оборудования или сбоя процесса
Области применения
- Производство полупроводников
Характеристики
|
Тип |
Датчики SemiQCM ™ для мониторинга прекурсоров TDMAT |
|---|---|
|
Максимальная температура |
200°C |
|
Размер сенсорной головки (Максимальные габариты) |
23.87 мм (внешний диаметр) x 29.19 мм (0.94 дюйм. (внешний диаметр) x 1.15 дюйм.) |
|
Монтажный фланец |
KF 40 |
|
Материалы |
|
|
Корпус и держатель |
Нержавеющая сталь 304 |
|
Пружины |
Бериллиево-медный сплав с золотым покрытием |
|
Коаксиальная линия |
Внешний диаметр: 5 мм (1.88 дюйм.) нержавеющая сталь |
|
Остальные механические части |
Нержавеющая сталь 304 или 18-8, сплав Hastelloy® c276 |
|
Изоляторы |
>99% Al2O3 в вакууме: тефлон используется в остальных местах |
|
Провода |
1. никель (в вакууме) 2. Никель с медным покрытием (в остальных местах) |
|
Припой |
Вакуумный высокотемпературный сплав нихром |
|
Кристалл |
13.97 мм (0.550 дюйм.) диаметр |
Конфигурации
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
750-7000-G5 |
Датчик QCM для полупроводников в сборе 50 мм |
|
750-7000-G6 |
Датчик QCM для полупроводников в сборе 60 мм |
|
750-7000-G7 |
Датчик QCM для полупроводников в сборе 70 мм |
|
750-7000-G8 |
Датчик QCM для полупроводников в сборе 80 мм |
|
750-7000-G9 |
Датчик QCM для полупроводников в сборе 90 мм |
|
750-7000-G10 |
Датчик QCM для полупроводников в сборе 100 мм |
|
750-7000-G11 |
Датчик QCM для полупроводников в сборе 110 мм |
|
750-7000-G12 |
Датчик QCM для полупроводников в сборе 120 мм |
|
750-7000-G13 |
Датчик QCM для полупроводников в сборе 130 мм |
|
750-7000-G14 |
Датчик QCM для полупроводников в сборе 140 мм |
|
750-7000-G15 |
Датчик QCM для полупроводников в сборе 150 мм |
Расходные материалы
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
750-7013-G1S |
Запасной держатель кристалла в сборе |
|
750-1090-G10 |
Кристаллы сенсора, 6 МГц, сплав SC |
Запасные части
|
Датчики SemiQCM для мониторинга прекурсоров TDMAT |
|
|---|---|
|
Каталожный номер |
Описание |
|
007-023 |
Керамический фиксатор |
|
750-171-P1 |
Контакт пружины пальца |
|
750-7005-G1S |
Держатель кристалла и стопорная пружина в сборе |