Система плазменного и реактивно-ионного травления ERSTEVAK CIONE 8
Тип: Система
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Тип управления:
Ручное и автоматическое
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Генератор: 20~100 кГц (макс. 300 Вт)/ 13,56 МГц (макс. 300 Вт)
Газовые линии: Макс. 4 линии (500 см3)