Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Масса, кг: 955
Предельный вакуум, мбар: 0.005
Максимальная скорость откачки, м³/ч: 5500
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Масса, кг: 948
Предельный вакуум, мбар: 0.005
Максимальная скорость откачки, м³/ч: 4480
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Масса, кг: 908
Предельный вакуум, мбар: 0.005
Максимальная скорость откачки, м³/ч: 3300
Описание
Серия сухих насосов EV-SL предназначена для высокочистых вакуумных процессов, включая фотолитографию, биомедицину, фармацевтику и т.д. Насосы данной серии демонстрируют высокие характеристики, бесперебойную работу, низкий уровень шума.
|
Модель |
EV-SL1800 |
EV-SL1800H |
EV-SL3000 |
EV-SL5000 |
EV-SL6000 |
|
Макс. скорость откачки, м3/ч |
1800 |
1800 |
3300 |
4480 |
5500 |
|
Предельный вакуум, мбар |
0.005 |
0.005 |
0.005 |
0.005 |
0.005 |
|
Входной диаметр |
ISO160 |
ISO160 |
ISO160 |
ISO200 |
ISO250 |
|
Выходной диаметр |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
|
Напряжение источника питания, В |
380~480 |
380~480 |
380~480 |
380~480 |
380~480 |
|
Номинальная мощность, кВт |
12 |
12 |
18.5 |
18.5 |
18.5 |
|
Рабочая мощность, кВт |
3.5 |
4.7 |
7.3 |
7.3 |
7.3 |
|
Расход охлаждающей жидкости, л/мин |
7 |
7 |
12 |
12 |
12 |
|
Поток газа продувки N2, ст. л/мин |
96 |
96 |
44-96 |
44-96 |
46-133 |
|
Разъем источника питания |
HK-004 |
HK-004 |
H2MK-002 |
H2MK-002 |
H2MK-002 |
|
Масса, кг |
480 |
485 |
908 |
948 |
955 |
|
Шум, дБ (А) |
<70 |
<70 |
<70 |
<70 |
<70 |
|
Габариты (ДхШхВ), мм |
901x442x787 |
901x442x787 |
1240x580x966 |
1240x580x966 |
1125x517x969 |