- Главная
- Производители
- Каталог оборудования HIDEN
- Масс-спектрометры HIDEN
- HAL - анализ остаточных газов в UHV системах
HAL - анализ остаточных газов в UHV системах
Описание Масс-спектрометры RGA серии HAL применяются для анализа остаточных газов в сложных условиях сверхвысокого напряжения, включая пучковые линии,...
HAL - анализ остаточных газов в UHV системах
Описание
Масс-спектрометры RGA серии HAL применяются для анализа остаточных газов в сложных условиях сверхвысокого напряжения, включая пучковые линии, ускорители частиц, синхротроны и др.
Анализатор HAL может быть изготовлен либо с позолоченным источником ионов для уменьшения пикового значения ионного источника от электронно-стимулированной десорбции (ESD), либо с источником UHV напряжения с вакуумным обжигом для сокращения газовыделения из ионного источника.
Особенности HAL
- Диапазоны регистрируемых масс — 100, 200 и 300 а.е.м.;
- Двойной детектор с электронным умножителем Фарадея/канальный электронный умножитель;
- Минимальное обнаруживаемое парциальное давление 5х10-14 мбар;
- Максимальное рабочее давление 1x10-4 мбар;
- Радиационная стойкость с дистанционным радиочастотным управлением;
- Электронно-ударный ионизатор с иридиевой нитью с двойным оксидным покрытием.
|
Модель/ |
Квадрупольный масс-спектрометр HIDEN HAL 101 RC |
Квадрупольный масс-спектрометр HIDEN HAL 201 RC |
Квадрупольный масс-спектрометр HIDEN HAL 301 RC |
|---|---|---|---|
|
Диапазон регистрируемых масс (а.е.м) |
100 |
200 |
300 |
|
Тип детектора |
Двойной цилиндр Фарадея/ Одноканальный детектор с электронным умножителем |
Двойной цилиндр Фарадея/ Одноканальный детектор с электронным умножителем |
Двойной цилиндр Фарадея/ Одноканальный детектор с электронным умножителем |
|
Максимальное рабочее давление, мбар |
1x104 |
1x104 |
1x104 |
|
Разрешение |
10%-ная точка минимума между соседними вершинами одинаковой высоты во всем диапазоне масс (регулируется ПО) |
10%-ная точка минимума между соседними вершинами одинаковой высоты во всем диапазоне масс (регулируется ПО) |
10%-ная точка минимума между соседними вершинами одинаковой высоты во всем диапазоне масс (регулируется ПО) |
|
Минимальное детектируемое парциальное давление, мбар |
1x10-11 (с цилиндром Фарадея), 5x10-14 (с канальным электронным умножителем) |
1x10-11 (с цилиндром Фарадея), 5x10-14 (с канальным электронным умножителем) |
1x10-11 (с цилиндром Фарадея), 5x10-14 (с канальным электронным умножителем) |
|
Максимальная скорость измерения |
650 измерений в секунду |
650 измерений в секунду |
650 измерений в секунду |
|
Ионный источник |
Ионный источник с вакуумным обжигом. Радиально-симметричный источник ионов, совместимый с UHV |
Ионный источник с вакуумным обжигом. Радиально-симметричный источник ионов, совместимый с UHV |
Ионный источник с вакуумным обжигом. Радиально-симметричный источник ионов, совместимый с UHV |
|
Нить накаливания |
Двойная нить накаливания IrO2 |
Двойная нить накаливания IrO2 |
Двойная нить накаливания IrO2 |
|
Возможность управления источником ионов |
Эмиссия электронов: программная переменная от 1 мкА до 2 мА; Энергия электронов: программная переменная от 0 до 150 эВ; Энергия ионов: программная переменная от 0 до 10 эВ. |
Эмиссия электронов: программная переменная от 1 мкА до 2 мА; Энергия электронов: программная переменная от 0 до 150 эВ; Энергия ионов: программная переменная от 0 до 10 эВ. |
Эмиссия электронов: программная переменная от 1 мкА до 2 мА; Энергия электронов: программная переменная от 0 до 150 эВ; Энергия ионов: программная переменная от 0 до 10 эВ. |
|
Потребляемая мощность |
100-240 В переменного тока, 50-60 Гц, 250 ВА |
100-240 В переменного тока, 50-60 Гц, 250 ВА |
100-240 В переменного тока, 50-60 Гц, 250 ВА |
Товары серии HAL
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?