Описание
Масс-спектрометры RGA серии HALO применяются для сравнения и анализа остаточных газов/паров в вакуумной камере, контроля и регистрации парциальных давлений в реальном времени. Серия HALO оснащена одним фильтром для многопрофильных задач в условиях HV/UHV.
Особенности HALO
- Диапазоны регистрируемых масс — 100, 200 и 300 а.е.м.;
- Двойной детектор Фарадея или электронный умножитель с диапазоном парциального давления от 10-4 мбар до 10-13 мбар;
- В качестве крепежного фланца используется DN-35-CF (2¾"/70 мм O.D. CF);
- Длина стержня — 204 мм;
- Габариты блока управления RF, (ВхШхГ): 117х104х195 мм;
- Высокая скорость — до 500 измерений в секунду (но только через 1 декаду);
- Управление с ПК Windows;
- Автоматический электронный лучевой затвор EBS™ оптимизирует подавление шума;
- Автоматический режим DeSat™ для высокоскоростного сканирования даже при наличии насыщающих сигналов;
- Чувствительность RGA Hiden для гелия в 5 раз выше, чем у обычного анализатора, что обеспечивает превосходные характеристики обнаружения утечек.
|
Модель/ |
Квадрупольный масс-спектрометр HIDEN HALO 201-RC |
Квадрупольный масс-спектрометр HIDEN HAL 301-RC |
|---|---|---|
|
Диапазон регистрируемых масс (а.е.м) |
200 |
300 |
|
Тип детектора |
Двойной цилиндр Фарадея/ Канальный детектор с электронным умножителем |
Двойной цилиндр Фарадея/ Канальный детектор с электронным умножителем |
|
Максимальное рабочее давление, мбар |
1x104 |
1x104 |
|
Разрешение |
10%-ная точка минимума между соседними вершинами одинаковой высоты во всем диапазоне масс (регулируется ПО) |
10%-ная точка минимума между соседними вершинами одинаковой высоты во всем диапазоне масс (регулируется ПО) |
|
Минимальное детектируемое парциальное давление, мбар |
1x10-11 (с Цилиндром Фарадея), 2x10-14 (с канальным электронным умножителем) |
1x10-11 (с Цилиндром Фарадея), 2x10-14 (с канальным электронным умножителем) |
|
Максимальная скорость измерения |
1000 измерений в секунду |
1000 измерений в секунду |
|
Ионный источник |
Радиально-симметричный источник ионов, совместимый с UHV |
Радиально-симметричный источник ионов, совместимый с UHV |
|
Нить накаливания |
Двойная нить накаливания IrO2 |
Двойная нить накаливания IrO2 |
|
Возможность управления источником ионов |
Эмиссия электронов: программная переменная от 1 мкА до 2 мА; Энергия электронов: программная переменная от 0 до 150 эВ; Энергия ионов: программная переменная от 0 до 10 эВ. |
Эмиссия электронов: программная переменная от 1 мкА до 2 мА; Энергия электронов: программная переменная от 0 до 150 эВ; Энергия ионов: программная переменная от 0 до 10 эВ. |
|
Потребляемая мощность |
100-240 В переменного тока, 50-60 Гц, 250 ВА |
100-240 В переменного тока, 50-60 Гц, 250 ВА |