- Главная
- Производители
- Каталог оборудования INFICON
- Системы контроля толщины тонких пленок во время напыления INFICON
- Кварцевые кристаллы для контроля процесса INFICON
- Двойной датчик с охлаждаемым корпусом INFICON
Двойной датчик с охлаждаемым корпусом INFICON
Описание Двойной датчик Cool Drawer разработан для использования в критических процессах, когда желательно иметь второй кристалл в вакуумной камере....
Двойной датчик с охлаждаемым корпусом INFICON
Описание
Двойной датчик Cool Drawer разработан для использования в критических процессах, когда желательно иметь второй кристалл в вакуумной камере. Литой корпус датчика из нержавеющей стали с водяным охлаждением, два держателя кристаллов Cool Drawer и заслонка с пневматическим приводом делают надежной головку сенсора, а резервный кристалл дает еще большую уверенность. Данная система делает вакуумную систему более чистой и надежной, поскольку внутри камеры нет коаксиальных кабелей.
Особенности
- Два кристалла;
- Нет внутренних кабелей;
- Держатель кристаллов Cool Drawer;
- Простая установка;
- Возможность прогрева с приварным фланцем CF40;
- Доступен для заказа с фланцем CF40 и отверстиями для болтов 2,54 см (1 дюйм);
- Регулируемая длина при заказе с компрессионными фитингами;
- При заказе с компрессионными фитингами пайка не требуется;
- Доступна комбинация: сенсор / вакуумный ввод, сваренный на длину, указанную заказчиком.
Характеристики
|
Тип |
Одиночный датчик Cool Drawer |
|---|---|
|
Корпус |
Позолоченный охлаждаемый корпус из нержавеющей стали |
|
Охлаждающая вода |
Минимальный расход воды 150 — 200 см3/мин при внешнем диаметре ⅛ дюйма, 30°C макс. (Не допускайте замерзание воды) |
|
Электрическое подключение |
Два стандартных BNC (мама) со стороны атмосферы |
|
Кристалл |
Промышленный стандарт диаметром 0,55 дюйма |
|
Подача воздуха |
Датчики с заслонкой требуют регулировку от 55 до 60 psi |
|
Ввод: компрессионный фитинг и болт 1 дюйм: |
|
|
Материалы |
304 нержавеющая сталь, Teflon®, керамика, никель-бериллий, VITON® |
|
Температура |
Условия эксплуатации: до 300°C с водяным охлаждением или до 165°C без |
|
Установка |
Отверстие диаметром 1,015 ± 0,010 дюйма |
|
Приварной ввод CF 40: |
|
|
Материалы |
304 нержавеющая сталь, Teflon, керамика, никель-бериллий |
|
Температура |
Условия эксплуатации: до 450°C с водяным охлаждением или до 200°C без |
|
Установка |
Сопрягается с фланцами типа ConFlat 2¾ дюйма. |
Артикул
Аксессуары
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
750-420-G1 |
Электромагнитный клапан, 24 В (для использования с заслонками и многокристальными датчиками) |
Запасные части
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
123259 |
Фиксатор кристалла датчика Cool Drawer |
|
123261 |
Корпус сенсора Cool Drawer |
|
123260 |
Корпус для сенсора +фиксатор Cool Drawer |
|
147206-2 |
Сильфон с трубкой 35 дюймов |
|
147207 |
Сильфон + крышка в сборе (включая все детали, отмеченные *) |
|
147401 |
Заслонка |
|
147402 |
Канал передачи |
|
147403 |
Привод |
|
147406 |
Кронштейн сильфона |
|
147407 |
Крышка сильфона |
|
147408 |
Вал с резьбой |
|
147411 |
Прокладка |
|
147424 |
Сильфон |
|
082-026 |
# 2-56 Гайка (деталь теплового экрана в сборе) |
|
082-064 |
Стопорная шайба |
|
084-205 |
Винт Phillips # 4-40 x 3/16 |
|
800128 |
#4 Стопорная шайба |
|
800371 |
Ступенчатый винт |
|
800372 |
Шайба |
|
800416 |
Установочный винт 6-32 x 3/16 дюйма |
|
803313 |
Пружина |
|
123223-2 |
Паяная трубка короткая |
|
803102 |
Уплотнительное кольцо для регулируемого вакуумного ввода (5 портов) |
|
803261 |
Шайба для регулировки вакуумного ввода (5-портов) |
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?
